Được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế được gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), tiêu chuẩn SEMI F104 mô tả các yêu cầu và trình bày các phương pháp thử nghiệm để đánh giá và so sánh các thành phần trong dòng chất lỏng siêu tinh khiết về sự đóng góp của các hạt. Tiêu chuẩn này xác định hai phương pháp thử để đánh giá sự đóng góp của hạt: phương pháp thử tráng và phương pháp thử động.
Cả hai phương pháp thử nghiệm đều được áp dụng cho các thành phần hóa chất lỏng và hệ thống nước siêu tinh khiết được thiết kế để sử dụng trong các công cụ sản xuất chất bán dẫn và thiết bị phụ trợ.
Các phương pháp thử được mô tả trong tiêu chuẩn này là các phép thử để đo sự đóng góp của các hạt của các thành phần khi sử dụng nước siêu tinh khiết làm môi trường thử nghiệm. Đối với mục đích của tiêu chuẩn này, nước siêu tinh khiết phải đáp ứng các yêu cầu tối thiểu được nêu trong tiêu chuẩn. Khi áp dụng các phương pháp thử này, một dụng cụ đo hạt quang lỏng được sử dụng để đo hiệu suất. Thiết bị này thường được sử dụng như một máy đếm hạt để phát hiện và giám sát ô nhiễm hạt trong một số môi trường sạch, bao gồm không khí, nước và hóa chất. Máy đếm hạt được sử dụng trong các công nghệ công nghiệp như linh kiện và cụm điện tử, sản phẩm dược phẩm và thiết bị y tế, và dầu khí để hỗ trợ thực hành sản xuất sạch hơn.
Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, các tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:
Trong số rất nhiều thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà tổ chức chúng tôi cung cấp cho các doanh nghiệp trong nhiều lĩnh vực khác nhau, chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ thử nghiệm để đánh giá hàm lượng hạt trong các thành phần được sử dụng trong hệ thống phân phối nước siêu tinh khiết và hóa chất lỏng theo tiêu chuẩn SEMI F104, sử dụng đội ngũ nhân viên được đào tạo chuyên nghiệp và thiết bị công nghệ tiên tiến.
Bạn có thể yêu cầu chúng tôi điền vào mẫu của chúng tôi để có được một cuộc hẹn, để có thêm thông tin hoặc yêu cầu đánh giá.
