Tiêu chuẩn SEMI F115, được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế có tên gọi là Chương trình Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), bao gồm các hoạt động mang lại lợi ích cho các ngành công nghiệp như bán dẫn, mạch tích hợp, bóng bán dẫn, điốt và màn hình phẳng trên toàn thế giới, định nghĩa một phương pháp thử nghiệm để xác định các nguyên tố kim loại có mặt trên bề mặt tiếp xúc của các hệ thống và linh kiện cung cấp hóa chất siêu tinh khiết (UHP).
Phương pháp thử này có thể áp dụng cho các hệ thống và thành phần phân phối hóa chất có độ tinh khiết cực cao. Ví dụ về các thử nghiệm bao gồm van, bộ điều chỉnh, bộ lọc, bộ điều khiển lưu lượng lớn, đường ống, cụm hàn và cụm làm kín mặt. Phương pháp thử này cũng có thể được sử dụng để phát hiện sự nhiễm bẩn từ nơi lắp ráp hoặc sản xuất.
Tiêu chuẩn nói trên trình bày chi tiết phương pháp chiết xuất và đo các phần tử kim loại có thể tháo rời bằng nước siêu tinh khiết trên bề mặt được làm ướt. Phương pháp thử này cũng có thể được sử dụng để đánh giá hiệu quả của các quá trình giặt hoặc làm sạch khác nhau.
Khí có độ tinh khiết siêu cao được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn. Độ tinh khiết cực cao thường được định nghĩa là nồng độ dưới 100 ppb đối với bất kỳ phân tử dễ bay hơi nào như mức tạp chất hoặc độ ẩm.
Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, các tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:
Công ty chúng tôi, trong số rất nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, với đội ngũ chuyên gia được đào tạo và trang thiết bị công nghệ tiên tiến, dịch vụ thử nghiệm để xác định các nguyên tố kim loại trên bề mặt ướt có độ tinh khiết siêu cao hệ thống phân phối hóa chất và các thành phần trong phạm vi của tiêu chuẩn SEMI F115. cũng đưa ra.
Bạn có thể yêu cầu chúng tôi điền vào mẫu của chúng tôi để có được một cuộc hẹn, để có thêm thông tin hoặc yêu cầu đánh giá.
