Phương pháp thử nghiệm SEMI F76 để đánh giá sự đóng góp của các hạt từ các thành phần của hệ thống khí tiếp xúc với khí ăn mòn

Tiêu chuẩn SEMI F76, được phát triển theo chương trình tiêu chuẩn quốc tế mang tên Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , định nghĩa phương pháp thử nghiệm để so sánh các thành phần xử lý khí về khả năng tạo ra hạt trong môi trường khí ăn mòn. Tiêu chuẩn này được thiết kế như một cách thực tiễn để tạo ra dữ liệu hiệu suất cho một nhóm các thành phần cần được so sánh trong quá trình lựa chọn. Phương pháp thử nghiệm được mô tả có thể áp dụng cho van, bộ lọc hạt và bộ điều chỉnh áp suất thấp.

Tiêu chuẩn SEMI cung cấp cho các nhà sản xuất hướng dẫn về hóa chất và quy trình vật liệu liên quan đến sản xuất chip bán dẫn và các thiết bị liên quan khác. Nhờ các tiêu chuẩn này, các công ty có thể thâm nhập thị trường quốc tế, giảm thiểu rủi ro thiết kế và tăng năng suất của họ.

Đối với ngành công nghiệp bán dẫn, độ tinh khiết cao, khả năng kháng hóa chất, mật độ và độ chính xác là những công cụ quan trọng cho quá trình sản xuất và phát triển sản phẩm. Vật liệu bán dẫn là vật liệu đạt được đặc tính dẫn điện với tác dụng của công cơ học tác dụng lên chúng. Những vật liệu này, là chất cách điện trong điều kiện bình thường, giải phóng một số điện tử của chúng và trở nên dẫn điện khi có tác dụng bên ngoài như nhiệt, ánh sáng, hiệu ứng từ hoặc hiệu điện thế. Khi tác dụng bên ngoài tác dụng này bị loại bỏ, các chất này trở lại trạng thái cách điện. Nhờ những đặc tính này, chất bán dẫn được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực điện tử.

Các tiêu chuẩn SEMI cũng liên quan đến các nguồn khí được lưu trữ / nén và hệ thống phân phối. Nó cũng thường dùng để chỉ các khí phụ gia có độc tính cao trong các bước khuếch tán ở nhiệt độ cao.

Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, các tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:

• Đặc điểm kỹ thuật cho SEMI C59 Nitrogen
• SEMI E66 Phương pháp thử nghiệm để xác định sự đóng góp của hạt bằng bộ điều khiển lưu lượng khối lượng
• Bộ lọc khí và bộ lọc khí tại điểm sử dụng SEMI F43 cũng như phương pháp thử nghiệm để xác định phụ gia dạng hạt

Tổ chức của chúng tôi, trong số rất nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, cũng cung cấp các dịch vụ thử nghiệm để đánh giá sự đóng góp của hạt từ các thành phần hệ thống khí tiếp xúc với khí ăn mòn trong phạm vi tiêu chuẩn SEMI F76, với được đào tạo và đội ngũ chuyên gia và thiết bị công nghệ tiên tiến.