Phương pháp kiểm tra để xác định tính toàn vẹn của rò rỉ của hệ thống phân phối khí với máy dò rò rỉ khí Heli SEMI F106

Được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế có tên gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), bao gồm các hoạt động vì lợi ích của các ngành như chất bán dẫn, mạch tích hợp, bóng bán dẫn, điốt và màn hình phẳng trên toàn thế giới, tiêu chuẩn SEMI F106 được phê duyệt về mặt kỹ thuật bởi Ủy ban Kỹ thuật Toàn cầu Gases. là một tiêu chuẩn. Tiêu chuẩn này mô tả phương pháp thử nghiệm để phát hiện rò rỉ khí heli bên trong đối với hệ thống phân phối khí. Tiêu chuẩn này áp dụng cho cả hệ thống phân phối khí gắn trên bề mặt kim loại và hệ thống phân phối khí gắn trên bề mặt.

Phương pháp thử nghiệm được trình bày có thể áp dụng cho tất cả các loại hệ thống phân phối khí có độ tinh khiết cao được sử dụng trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn và các khu vực nghiên cứu và phát triển có thể so sánh được.

Kiểm tra rò rỉ Heli được áp dụng để phát hiện rò rỉ có thể xảy ra trong các loại hệ thống kín hoặc kín sử dụng Heli làm khí đánh dấu. Với thử nghiệm này, nồng độ rò rỉ (rò rỉ) được đo và xác định là tốc độ rò rỉ.

Các phẩm chất quan trọng chính của khí heli khiến nó trở nên lý tưởng để kiểm tra rò rỉ là:

• Khí Heli là một trong những phân tử nhỏ nhất cho phép nó đi qua các con đường một cách đáng tin cậy và nhanh chóng.
• Khí Heli là một loại khí trơ, không tương tác với các thành phần đã được thử nghiệm nên rất an toàn khi sử dụng.
• Tiếng ồn thiết bị từ helium vốn đã rất thấp do tính khả dụng của nó trong khí quyển hạn chế ở mức dưới 5 ppm và do đó đưa ra các báo cáo cực kỳ chính xác.

Tóm lại, phương pháp kiểm tra dựa trên heli là một công nghệ kiểm tra rò rỉ có độ nhạy cao được trang bị với khả năng phát hiện các rò rỉ cực kỳ nhỏ mà các phương pháp kiểm tra rò rỉ khác không thể thực hiện được. Kỹ thuật chân không cao được sử dụng cho thử nghiệm này. Ngưỡng kiểm tra rò rỉ rất thấp được cung cấp, một mức độ nhạy cho phép so sánh vô song giữa các thành phần của gói.

Tổ chức của chúng tôi, trong số rất nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, cũng cung cấp các dịch vụ thử nghiệm để xác định tính toàn vẹn rò rỉ của hệ thống phân phối khí với thiết bị phát hiện rò rỉ heli trong phạm vi tiêu chuẩn SEMI F106, với đội ngũ nhân viên được đào tạo và chuyên gia và thiết bị công nghệ tiên tiến.