Phương pháp thử nghiệm SEMI F73 để quét kính hiển vi điện tử (SEM) Đánh giá tình trạng bề mặt ướt của các thành phần thép không gỉ

Được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế được gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), tiêu chuẩn SEMI F73 xác định một phương pháp thử nghiệm thống nhất để kiểm tra bề mặt ướt của các thành phần thép không gỉ nhằm lắp ráp trong hệ thống phân phối khí có độ tinh khiết cao. Phương pháp thử này đặc trưng cho sự xuất hiện, tần suất và, trong một số trường hợp, nhận dạng các khuyết tật bề mặt vi mô và các chất nhiễm bẩn nhìn thấy trên bề mặt ẩm ướt.

Có mối tương quan trực tiếp giữa kết quả của phương pháp thử này và sự nhiễm bẩn của khí quá trình hoặc sản lượng sản phẩm trong các quá trình được phục vụ bởi hệ thống phân phối khí có độ tinh khiết cao. Việc áp dụng phương pháp thử này nhằm mang lại các kết quả có thể so sánh được và có thể lặp lại giữa những người sử dụng phương pháp này với mục đích đánh giá chất lượng của các bộ phận.

Mục đích của phương pháp thử được mô tả trong tiêu chuẩn này là xác định một tập hợp chung các thông số và điều kiện của thiết bị sẽ mang lại các phép đo chính xác và có thể lặp lại các thông số quan trọng của tình trạng bề mặt.

Phương pháp thử nghiệm này có thể áp dụng cho các bề mặt ẩm ướt trên ống thép không gỉ, phụ kiện, van và các bộ phận khác để xác định hiệu quả của việc xử lý làm sạch và hoàn thiện bề mặt. Phương pháp này được áp dụng để xác định các khuyết tật bề mặt bao gồm các vết rỗ, tạp chất, vết xước, vết quá trình còn sót lại, ranh giới của hạt và sự nhiễm bẩn trên bề mặt được làm ướt. Tuy nhiên, bất kỳ hư hỏng bề mặt nào phát sinh trong quá trình chuẩn bị mẫu phải được loại trừ khỏi đánh giá này.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một kính hiển vi điện tử sử dụng chùm điện tử hội tụ để quét và hình ảnh bề mặt mẫu. Các electron tương tác với các nguyên tử trong mẫu và tạo ra các tín hiệu khác nhau chứa thông tin về thành phần trên bề mặt mẫu. Các thiết bị quét tiêu chuẩn thích hợp để kiểm tra các bề mặt khô và dẫn điện trong môi trường chân không cao. Tuy nhiên, cũng có những thiết bị quét hoạt động trong điều kiện chân không, ẩm thấp và điều kiện nhiệt độ từ rất thấp đến cao.

Trong số rất nhiều thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà tổ chức chúng tôi cung cấp cho các doanh nghiệp trong nhiều lĩnh vực khác nhau, chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ thử nghiệm để đánh giá tình trạng bề mặt ướt của các bộ phận thép không gỉ bằng kính hiển vi điện tử quét (SEM) theo tiêu chuẩn SEMI F73, nhờ vào đội ngũ nhân viên được đào tạo chuyên nghiệp và giàu kinh nghiệm cùng thiết bị công nghệ tiên tiến.