Được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế có tên gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), bao gồm các hoạt động vì lợi ích của các ngành như chất bán dẫn, mạch tích hợp, bóng bán dẫn, điốt và màn hình phẳng trên toàn thế giới, tiêu chuẩn SEMI F71 được phê duyệt về mặt kỹ thuật bởi Ủy ban Kỹ thuật Toàn cầu Gases. là một tiêu chuẩn. Phương pháp thử được xác định trong tiêu chuẩn này áp dụng cho hệ thống phân phối khí được lắp đặt trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn.
Tiêu chuẩn này không đề cập đến tất cả, nếu có, các vấn đề bảo mật liên quan đến việc sử dụng tiêu chuẩn này. Người sử dụng tiêu chuẩn này có trách nhiệm thiết lập các thực hành an toàn và sức khỏe thích hợp trước khi sử dụng và xác định khả năng áp dụng của các giới hạn.
Trong hệ thống phân phối khí áp suất thấp, áp suất khí trong đường dây dẫn và đường dây dịch vụ về cơ bản giống như áp suất khí được phân phối đến các thiết bị của người dùng. Trong một hệ thống như vậy, không cần có bộ điều chỉnh dịch vụ trên các đường dịch vụ riêng biệt. Hệ thống đường ống phân phối khí áp suất cao hoạt động ở áp suất cao hơn áp suất dịch vụ tiêu chuẩn cung cấp cho người sử dụng. Trong một hệ thống như vậy, cần có một bộ điều chỉnh dịch vụ trong mỗi dây chuyền dịch vụ để kiểm soát áp suất.
Các kiểu truyền nhiệt bên ngoài khác nhau phụ thuộc vào ảnh hưởng của áp suất chất lỏng trong đường ống và việc tính toán nhiệt độ theo chu kỳ nhiệt độ môi trường hàng năm. Trong mô hình truyền nhiệt, chu kỳ nhiệt độ môi trường được biểu thị bằng nhiệt độ bề mặt đất, có hàm tuần hoàn theo thời gian. Tuy nhiên, kết quả không nhạy cảm với việc lựa chọn kiểu truyền nhiệt bên ngoài của áp suất đường ống. Đối với trường hợp cơ sở, thường đại diện cho đường ống xuất khẩu khí đốt tự nhiên, tác động đến nhiệt độ khí tính toán được hạn chế.
Nhiều vật liệu trong hệ thống phân phối khí trải qua những thay đổi tùy thuộc vào các yếu tố trong môi trường. Các bài kiểm tra khả năng chống chịu với các điều kiện môi trường nhằm phát hiện những thay đổi này.
Hệ thống phân phối khí phải phân phối khí một cách an toàn và hiệu quả từ nguồn áp suất cao đến quá trình cuối cùng ở áp suất và tốc độ dòng chảy theo yêu cầu của từng ứng dụng.
Tổ chức của chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ thử nghiệm cho chu trình nhiệt độ của hệ thống phân phối khí trong phạm vi của tiêu chuẩn SEMI F71, với đội ngũ chuyên gia được đào tạo và trang thiết bị công nghệ tiên tiến, trong số nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong nhiều lĩnh vực khác nhau. các ngành.
Bạn có thể yêu cầu chúng tôi điền vào mẫu của chúng tôi để có được một cuộc hẹn, để có thêm thông tin hoặc yêu cầu đánh giá.
