Phương pháp kiểm tra để xác định hiệu quả của bộ lọc SEMI F68

Được phát triển theo một chương trình tiêu chuẩn quốc tế được gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), mục đích của tiêu chuẩn SEMI F68 là xác định phương pháp thử nghiệm để xác định hiệu quả của bộ lọc trong việc loại bỏ tạp chất dạng khí hoạt tính khỏi khí ma trận. Đó là, mục đích là để xác định hiệu quả của một máy lọc khí trong việc loại bỏ một loại ô nhiễm nhất định.

Các bài kiểm tra tính hiệu quả được thực hiện bằng cách thêm các tạp chất ở mức ppm (phần triệu) vào khí nền tinh khiết và theo dõi đầu ra của bộ lọc thử nghiệm để tìm các loại tạp chất hoạt tính. Các thử nghiệm này được thực hiện ở tốc độ dòng chảy, nhiệt độ vận hành và áp suất do nhà cung cấp khuyến nghị. Phương pháp thử được mô tả có thể áp dụng cho các bể lắng cặn lớn.

Vận hành đúng các thiết bị lọc là cần thiết để đối phó với các giới hạn nhất định. Hiệu quả của các thiết bị lọc không đổi do các yếu tố khác nhau như các hạn chế về bảo trì hoặc vận hành. Một bộ lọc có thể có hiệu suất tách danh nghĩa 90 phần trăm, trong khi trên thực tế, hiệu quả có thể nằm trong khoảng từ 20 phần trăm đến 60 phần trăm. Nếu không xác định được hiệu quả của thiết bị lọc, sẽ có nguy cơ nhiên liệu không mong muốn đi vào động cơ chính và do đó có nguy cơ hư hỏng cao.

Các hạt nhỏ gây hư hại các bộ phận phun nhiên liệu, làm mòn vòi phun nhiên liệu và làm gián đoạn kiểu phun, dẫn đến phân phối nhiên liệu không đồng đều. Để giảm khả năng nhiên liệu chứa hàm lượng hạt mịn cao tiếp tục đi vào hệ thống, người ta áp dụng kết hợp các phương pháp lắng đọng, làm sạch và lọc.

Nói chung, ba tình huống sau đây kích hoạt giám sát hiệu quả của bộ lọc:

Khi kết quả phân tích trong phòng thí nghiệm cho thấy mức độ cực cao của các hạt mịn trong nhiên liệu
Khi các sự cố vận hành gặp phải trong hệ thống đẩy
Là một phần của quy trình bảo trì theo lịch trình

Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, các tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:

SEMI E29 Hướng dẫn về đơn vị áp suất, nhiệt độ, mật độ và lưu lượng tiêu chuẩn được sử dụng trong đồng hồ đo lưu lượng khối lượng và bộ điều khiển lưu lượng khối lượng
Hướng dẫn sử dụng SEMI F6 để ngăn chặn thứ cấp các hệ thống đường ống khí độc hại
Hướng dẫn sử dụng hệ thống phân phối khí SEMI F22

Tổ chức của chúng tôi, trong số rất nhiều nghiên cứu kiểm tra, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, cũng cung cấp các dịch vụ kiểm tra để xác định hiệu quả của bộ lọc trong phạm vi tiêu chuẩn SEMI F68, với đội ngũ chuyên gia được đào tạo và nâng cao thiết bị công nghệ.