Thiết bị SEMI F111 Bộ lọc quạt (EFFU) Phương pháp thử để loại bỏ hạt

Tiêu chuẩn SEMI F111, được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế mang tên Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), bao gồm các hoạt động mang lại lợi ích cho các ngành công nghiệp như bán dẫn, mạch tích hợp, bóng bán dẫn, điốt và màn hình phẳng trên toàn thế giới, định nghĩa một phương pháp thử nghiệm để đo khả năng loại bỏ hạt của các bộ lọc quạt thiết bị (EFFU) được lắp đặt bên trong thiết bị.

Vì có bộ lọc hạt quạt, cụm quạt và mô tơ được lắp bên trong thiết bị, nên tính toàn vẹn của các bộ phận này rất quan trọng đối với hiệu suất của bộ lọc quạt thiết bị. Do đó, phương pháp kiểm tra loại bỏ hạt thông thường đối với bộ lọc hạt là phù hợp để đánh giá hiệu suất loại bỏ hạt của bộ lọc quạt thiết bị.

Phương pháp thử được mô tả trong tiêu chuẩn này mô tả phương pháp đánh giá đối với bộ lọc quạt thiết bị được lắp đặt trong một không gian hạn chế để loại bỏ các hạt được tạo ra trong thiết bị quá trình. Hiệu suất loại bỏ hạt của các bộ lọc quạt thiết bị nói chung phụ thuộc vào hiệu suất của phương tiện lọc và tốc độ dòng khí. Để hiểu được hiệu suất của bộ lọc quạt thiết bị, cần phải xem xét đồng thời thông số kỹ thuật của phương tiện lọc, tốc độ dòng khí và tính toàn vẹn của các bộ phận bộ lọc quạt thiết bị. Tóm lại, phương pháp thử nghiệm này nhằm mục đích chứng minh hiệu suất hệ thống của bộ lọc quạt thiết bị.

Thiết bị lọc quạt thiết bị là một loại thiết bị lọc không khí có động cơ. Nó được sử dụng để loại bỏ các phần tử có hại trong không khí từ không khí xung quanh và cung cấp không khí tinh khiết cho các phòng sạch, phòng thí nghiệm, cơ sở y tế hoặc môi trường vi mô. Các thiết bị này thường có bộ lọc riêng, bộ lọc HEPA và bộ phân phối không khí bằng quạt được điều khiển bên trong. Bộ lọc quạt thiết bị là giải pháp linh hoạt và tiết kiệm để loại bỏ các hạt bụi khỏi thiết bị thông gió một chiều.

Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:

• SEMI F38 Phương pháp kiểm tra đánh giá chất lượng hiệu quả của bộ lọc khí tại điểm sử dụng

Trong số nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, tổ chức của chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ thử nghiệm làm sạch hạt của bộ lọc quạt thiết bị (EFFU) trong phạm vi tiêu chuẩn SEMI F111, với đội ngũ chuyên gia và được đào tạo. và thiết bị công nghệ tiên tiến.