Phương pháp thử nghiệm SEMI F114 để xác định các chất ô nhiễm hữu cơ trong bề mặt ẩm ướt của các hệ thống và thành phần phân phối hóa chất có độ tinh khiết cực cao

Được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế được gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), tiêu chuẩn SEMI F114 xác định phương pháp thử nghiệm để xác định các hợp chất hữu cơ trên bề mặt ướt của hệ thống và thành phần phân phối hóa chất có độ tinh khiết siêu cao (UHP).

Phương pháp thử này có thể áp dụng cho các hệ thống và bộ phận phân phối hóa chất có độ tinh khiết cực cao. Ví dụ về các thử nghiệm bao gồm van, bộ điều chỉnh, bộ lọc và bộ điều khiển lưu lượng khối lượng, đường ống, phụ kiện hàn và phụ kiện bịt kín mặt. Phương pháp thử được mô tả cũng được sử dụng để phát hiện sự nhiễm bẩn từ khu vực lắp ráp hoặc sản xuất. Phương pháp thử nghiệm này trình bày chi tiết phương pháp loại bỏ và đo lường các chất bẩn hữu cơ được tìm thấy trên bề mặt ẩm ướt.

Tóm lại, phương pháp thử này cũng có thể được sử dụng để đánh giá hiệu quả của các quá trình giặt hoặc làm sạch khác nhau.

Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, các tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:

SEMI E49.8 Hướng dẫn về hệ thống phân phối khí có độ tinh khiết cao và siêu tinh khiết trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn
Đặc điểm kỹ thuật SEMI F20 cho thanh thép không gỉ 316L, rèn, hình dạng đùn, tấm và ống cho các thành phần được sử dụng cho mục đích chung, các ứng dụng chế tạo bán dẫn có độ tinh khiết cao và độ tinh khiết cực cao

Chất ô nhiễm hữu cơ được định nghĩa là các hóa chất gốc carbon như dung môi hữu cơ, thuốc trừ sâu, chất thải gốc dầu mỏ, gỗ và các hợp chất dễ bay hơi ở dạng khí hoặc lỏng. Chất ô nhiễm hữu cơ thường gây tác động tiêu cực đến môi trường. Nồng độ vết của dư lượng chất ô nhiễm hữu cơ được tìm thấy trong đất, nước, không khí và đôi khi cả thực phẩm được coi là có hại cho sức khỏe con người và môi trường. Chất ô nhiễm hữu cơ ở dạng khí hoặc lỏng có thể bao gồm dung môi, tiền chất và chất trung gian hóa học, và các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC) dưới dạng các hợp chất dầu mỏ.

Tổ chức của chúng tôi cung cấp dịch vụ thử nghiệm để xác định các chất ô nhiễm hữu cơ trên bề mặt ẩm ướt của hệ thống phân phối hóa chất có độ tinh khiết cực cao và các thành phần trong phạm vi tiêu chuẩn SEMI F114, với đội ngũ chuyên gia được đào tạo và thiết bị công nghệ tiên tiến, trong số rất nhiều thử nghiệm, đo lường , các nghiên cứu phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau.