Được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế được gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), bao gồm các hoạt động vì lợi ích của các ngành như chất bán dẫn, mạch tích hợp, bóng bán dẫn, điốt và màn hình phẳng trên toàn thế giới, tiêu chuẩn SEMI F80 được phê duyệt về mặt kỹ thuật bởi Ủy ban Kỹ thuật Toàn cầu về Gases. là một tiêu chuẩn. Tiêu chuẩn này mô tả phương pháp thử để xác định hiệu quả trao đổi khí / làm sạch của hệ thống phân phối khí. Tiêu chuẩn này bao gồm cả hệ thống phân phối khí gắn trên bề mặt kim loại và hệ thống phân phối khí gắn trên bề mặt. Phương pháp thử nghiệm này phù hợp với tất cả các hệ thống phân phối khí có độ tinh khiết cao được sử dụng trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn và các khu vực nghiên cứu và phát triển có thể so sánh được.
Điều quan trọng là phải loại bỏ không khí xung quanh khỏi tất cả các bộ phận của hệ thống đường ống khí có độ tinh khiết cao trước khi đưa khí xử lý vào. Điều này là cần thiết vì hai lý do:
Cần phải loại bỏ khí quá trình khỏi bất kỳ bộ phận nào của hệ thống đường ống trước khi tiếp xúc với không khí xung quanh. Những lý do cho điều này có thể được liệt kê như sau:
Bên cạnh vô số các thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà tổ chức chúng tôi cung cấp cho các doanh nghiệp trong nhiều lĩnh vực khác nhau, chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ thử nghiệm để xác định hiệu suất trao đổi/xả khí của hệ thống phân phối khí theo tiêu chuẩn SEMI F80, nhờ vào đội ngũ nhân viên được đào tạo chuyên nghiệp và giàu kinh nghiệm cùng thiết bị công nghệ tiên tiến.
Bạn có thể yêu cầu chúng tôi điền vào mẫu của chúng tôi để có được một cuộc hẹn, để có thêm thông tin hoặc yêu cầu đánh giá.
