Phương pháp thử nghiệm SEMI F112 để xác định tính chất làm khô độ ẩm của hệ thống phân phối khí thông thường và lắp trên bề mặt bằng quang phổ vòng lỗ (CRDS)

Được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế có tên là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), tiêu chuẩn SEMI F112 tập trung vào việc xác định các đặc tính sấy ẩm (tức là lượng hơi ẩm có thể chiết xuất) của bề mặt gắn kết của hệ thống phân phối khí tích hợp và khí đốt thông thường hệ thống phân phối sử dụng máy phân tích quang phổ vòng không gian (CRDS). Một phương pháp thử nghiệm được xác định cho

Kết quả của phương pháp thử này được sử dụng để xếp hạng định tính hệ thống phân phối khí dựa trên thiết kế. Nó cũng có thể được sử dụng bởi người dùng có đủ kiến ​​thức làm đầu vào cho mô phỏng số về hoạt động của hệ thống phân phối khí.

Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, các tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:

• Phương pháp kiểm tra tiêu chuẩn độ ẩm SEMI C15 ppm và ppb
• SEMI F1 Đặc điểm kỹ thuật về tính toàn vẹn của rò rỉ của các hệ thống và thành phần đường ống khí có độ tinh khiết cao

Quang phổ vòng không gian (CRDS) là một kỹ thuật nổi tiếng và được sử dụng để theo dõi độ ẩm trong khí quá trình có độ tinh khiết cao trong các ngành công nghiệp sản xuất bán dẫn và đèn LED, cũng như trong sản xuất, vận chuyển và phân phối khí và hóa chất công nghiệp. Lợi ích của kỹ thuật giám sát độ ẩm chính xác và tiết kiệm chi phí này đang thu hút sự chú ý của các cơ quan ban hành tiêu chuẩn ngành như SEMI.

Phương pháp thử nghiệm được trình bày trong tiêu chuẩn SEMI F112 cho phép người dùng đánh giá định tính và xếp hạng các hệ thống phân phối khí theo thiết kế của họ. Tiêu chuẩn này bao gồm các lĩnh vực ứng dụng chính sau:

• Hệ thống phân phối khí gắn trên bề mặt
• Hệ thống phân phối khí thông thường
• Thẩm định hệ thống đường ống mới
• Thẩm định các thiết kế phân phối khí mới

Nói chung, tiêu chuẩn SEMI là các thỏa thuận kỹ thuật tự nguyện giữa nhà cung cấp và khách hàng nhằm nâng cao chất lượng và độ tin cậy của sản phẩm thông qua nguồn cung cấp ổn định. Các tiêu chuẩn này đảm bảo tính tương thích toàn cầu của sản phẩm để đáp ứng những thách thức về tăng năng suất đồng thời mang lại cơ hội kinh doanh trên toàn thế giới.

Trong số rất nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó đã đưa ra cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, tổ chức của chúng tôi, với đội ngũ chuyên gia được đào tạo và trang thiết bị công nghệ tiên tiến, có thể phân tích các đặc tính làm khô độ ẩm của các hệ thống phân phối khí thông thường và gắn trên bề mặt. với quang phổ vòng không gian (CRDS) trong phạm vi tiêu chuẩn SEMI F112. Nó cũng cung cấp dịch vụ thử nghiệm để xác định