Tiêu chuẩn SEMI F 64, được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế mang tên Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), bao gồm các hoạt động mang lại lợi ích cho các ngành công nghiệp như bán dẫn, mạch tích hợp, bóng bán dẫn, điốt và màn hình phẳng trên toàn thế giới, định nghĩa một phương pháp thử nghiệm để đặc trưng hóa bộ điều khiển lưu lượng khối lượng được thiết kế để lắp đặt trong hệ thống phân phối khí. Phương pháp thử nghiệm này được áp dụng để xác định ảnh hưởng của các điều kiện áp suất đầu vào và đầu ra tạm thời và ổn định đến hiệu suất của bộ điều khiển lưu lượng khối lượng.
Phương pháp thử nghiệm này cung cấp cơ sở chung cho việc giao tiếp giữa nhà sản xuất và người sử dụng liên quan đến việc thử nghiệm và giải thích các hiệu ứng áp suất của bộ điều khiển lưu lượng lớn.
Với phương pháp thử nghiệm này, các ảnh hưởng của áp suất quá độ thượng nguồn (đầu vào) và hạ lưu (dòng ra) đối với dòng chảy quy định và thực tế được xác định. Phương pháp thử nghiệm này cho kết quả của lưu lượng đầu ra thực tế so với lưu lượng quy định và điểm đặt bộ điều khiển lưu lượng khối lượng bị ảnh hưởng bởi áp suất đầu vào ở trạng thái ổn định. Phương pháp này áp dụng cho bộ điều khiển lưu lượng khối lượng lớn với phạm vi lưu lượng lên đến 1000 sccm (cm khối tiêu chuẩn trên phút).
Sự tăng áp suất làm cho khí bị nén. Các chất khí có tỷ trọng lớn hơn và chiếm thể tích nhỏ hơn. Nói cách khác, nếu một khối khí nào đó đang chảy thì thể tích của nó nhỏ hơn. Vì cùng một khối lượng khí chảy qua cùng một đường ống nên vận tốc của khí nén giảm dần.
Trong các ứng dụng khí, sự dao động áp suất khí có thể ảnh hưởng đến vận tốc của khí, do đó ảnh hưởng đáng kể đến các dụng cụ đo lưu lượng khí.
Về cơ bản, lưu lượng là thước đo lượng khí thải ra trên một đơn vị thời gian. Tốc độ đề cập đến tốc độ di chuyển của không khí trên một đơn vị thời gian. Áp suất là đơn vị đo lực tác dụng lên một khu vực.
Trong số vô số các nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà công ty chúng tôi cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, với đội ngũ chuyên gia được đào tạo và trang thiết bị công nghệ tiên tiến, dịch vụ thử nghiệm để xác định tác động của áp suất lên dòng chảy thực tế và hiển thị cho khối lượng thiết bị điều khiển dòng chảy trong phạm vi của tiêu chuẩn SEMI F64. đưa ra.
Bạn có thể yêu cầu chúng tôi điền vào mẫu của chúng tôi để có được một cuộc hẹn, để có thêm thông tin hoặc yêu cầu đánh giá.
