Phương pháp thử nghiệm SEMI F113 cho đầu dò áp suất được sử dụng trong hệ thống phân phối khí

Phương pháp thử nghiệm SEMI F113 cho đầu dò áp suất được sử dụng trong hệ thống phân phối khí

Trong tiêu chuẩn SEMI F113, được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế được gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), bao gồm các hoạt động vì lợi ích của các ngành công nghiệp như bán dẫn, mạch tích hợp, bóng bán dẫn, điốt và màn hình phẳng trên khắp thế giới , nó được sử dụng trong hệ thống phân phối khí để xử lý chất bán dẫn. Một phương pháp thử nghiệm đối với bộ chuyển đổi áp suất điện tử được mô tả.

Phương pháp thử nghiệm SEMI F113 cho đầu dò áp suất được sử dụng trong hệ thống phân phối khí

Phương pháp thử nghiệm được mô tả là để kiểm tra tính toàn vẹn của rò rỉ, thời gian khởi động, độ chính xác của điện áp, độ không chính xác, độ tuyến tính, độ lặp lại, độ trễ, độ tái lập, hệ số nhiệt, độ chệch, vòng đời tăng tốc và áp suất bằng chứng của đầu dò áp suất với dải áp suất đầy đủ là 2757.9 hoặc ít hơn trong hệ thống phân phối khí. bao gồm các thủ tục.

Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, các tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:

  • Thông số kỹ thuật và hướng dẫn cho SEMI C59 Nitơ
  • SEMI E27 Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng và hướng dẫn tuyến tính đồng hồ đo lưu lượng khối lượng
  • Sổ tay thông số kỹ thuật áp suất cho bộ điều khiển lưu lượng lớn SEMI E28
  • SEMI E49 hướng dẫn hiệu suất đường ống có độ tinh khiết cao và độ tinh khiết cực cao cho các cụm phụ và cụm cuối cùng
  • SEMI E56 Phương pháp thử nghiệm để xác định độ chính xác, độ tuyến tính, độ lặp lại, độ tái lập ngắn hạn, độ trễ và dải chết của bộ điều khiển lưu lượng khối nhiệt
  • SEMI E89 Hướng dẫn phân tích hệ thống đo lường (MSA)
  • SEMI F1 Đặc điểm kỹ thuật về tính toàn vẹn của rò rỉ của các hệ thống và thành phần đường ống khí có độ tinh khiết cao
  • SEMI F62 Phương pháp thử nghiệm để xác định các đặc tính hiệu suất của bộ điều khiển lưu lượng khối từ các hiệu ứng nhiệt độ môi trường và khí

Công nghệ năng lượng dựa vào các cảm biến áp suất để tạo ra một hệ thống năng lượng đáng tin cậy. Cảm biến áp suất là một giải pháp tuyệt vời cho khí sinh học, khí tự nhiên và nhiều nguồn năng lượng khác. Các nguồn năng lượng này cần đo áp suất để đảm bảo an toàn và độ tin cậy. Các ngành công nghiệp thường cần giám sát áp suất khí là những ngành có hệ thống phức tạp, nơi ngay cả một sai sót nhỏ nhất về áp suất cũng có thể dẫn đến thảm họa.

Tổ chức của chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ thử nghiệm cho bộ chuyển đổi áp suất được sử dụng trong hệ thống phân phối khí trong phạm vi tiêu chuẩn SEMI F113, với đội ngũ chuyên gia được đào tạo và trang thiết bị công nghệ tiên tiến, trong số rất nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong nhiều lĩnh vực khác nhau. các ngành.

WhatsApp