Tiêu chuẩn SEMI F77, được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế mang tên Chương trình Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), bao gồm các hoạt động mang lại lợi ích cho các ngành công nghiệp như bán dẫn, mạch tích hợp, bóng bán dẫn, điốt và màn hình phẳng trên toàn thế giới, định nghĩa một phương pháp thử nghiệm để xác định khả năng chống ăn mòn rỗ tương đối của bề mặt ướt của các linh kiện được thiết kế để sử dụng trong hệ thống cung cấp khí ăn mòn cho sản xuất bán dẫn. Phương pháp thử nghiệm này là sự điều chỉnh từ tiêu chuẩn ASTM G150 do Hiệp hội Vật liệu và Thử nghiệm Hoa Kỳ (ASTM) ban hành (ASTM G150-18 Phương pháp thử nghiệm tiêu chuẩn về thử nghiệm nhiệt độ ăn mòn rỗ tới hạn điện hóa của thép không gỉ và hợp kim liên quan). Tiêu chuẩn này nhằm mục đích phân biệt giữa các thành phần hợp kim hoặc các quy trình sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất ăn mòn của bề mặt ướt. Chi tiết của tiêu chuẩn SEMI F77 được nêu trong tiêu chuẩn ASTM G150, và khuyến nghị nên tham khảo tiêu chuẩn ASTM G150 khi áp dụng phương pháp thử nghiệm này.
Phương pháp thử nghiệm được mô tả trong tiêu chuẩn SEMI F77 bao gồm quy trình dựa trên nhiệt độ rỗ quan trọng điện hóa được sử dụng để xếp hạng khả năng chống ăn mòn rỗ của các phiếu thử nghiệm bề mặt ướt của ống hoặc bề mặt hoàn thiện đại diện được sử dụng trong hệ thống khí ăn mòn. Ăn mòn rỗ được biết đến là một phương thức ăn mòn quan trọng trong hệ thống phân phối khí bán dẫn, đặc biệt là trong các linh kiện và đường ống được hàn và tiếp xúc với khí ăn mòn và hơi ẩm.
Tóm lại, phương pháp thử nghiệm tiêu chuẩn SEMI F77 là sự thích ứng của phương pháp thử nghiệm tiêu chuẩn ASTM G150 và mô tả phương pháp thử nghiệm để thực hiện sự thích ứng trên các phiếu hoặc phần bề mặt ướt được cắt từ các thành phần của hệ thống cung cấp khí như chai. Đây là phương pháp ngâm ướt.
Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:
Trong số nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, tổ chức của chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ thử nghiệm để xác định nhiệt độ rỗ tới hạn điện hóa của bề mặt thép không gỉ được sử dụng trong hệ thống khí ăn mòn trong phạm vi tiêu chuẩn SEMI F77, với được đào tạo và đội ngũ chuyên gia và thiết bị công nghệ tiên tiến.
Bạn có thể yêu cầu chúng tôi điền vào mẫu của chúng tôi để có được một cuộc hẹn, để có thêm thông tin hoặc yêu cầu đánh giá.
