Được phát triển theo một chương trình tiêu chuẩn quốc tế được gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), tiêu chuẩn SEMI F69 là một tiêu chuẩn kỹ thuật được Ủy ban Kỹ thuật Toàn cầu Gases phê duyệt. Tiêu chuẩn này cung cấp các phương pháp thử nghiệm được áp dụng để mô tả tính toàn vẹn cơ học của hệ thống phân phối khí thông qua thử nghiệm rung và va đập. Các phương pháp thử nghiệm được khuyến nghị ở đây bao gồm thử nghiệm rung (mô phỏng vận chuyển) và thử nghiệm xung kích của hệ thống phân phối khí (bao gồm cả giá đỡ thông thường và bề mặt) để xử lý chất bán dẫn.
Các phương pháp thử nghiệm được xác định trong tiêu chuẩn SEMI F69 áp dụng cho các hệ thống phân phối khí không được đóng gói để vận chuyển. Cụ thể, các phương pháp thử nghiệm áp dụng cho các bộ phận phân phối khí được lắp ráp và kết nối với nhau và bảng điều khiển gắn liền của chúng, có hoặc không có tấm chắn kim loại tấm.
Đối với mục đích của tiêu chuẩn này, rung động vận chuyển và mô phỏng dự kiến sẽ cao hơn bình thường ở các mức độ rung được sử dụng. Do đó, thử nghiệm mô phỏng vận chuyển được coi là có thể chấp nhận được để đánh giá tính toàn vẹn cơ học thích hợp cho cả vận chuyển và ứng suất rung vòng đời của hệ thống phân phối khí.
Mục đích của thử nghiệm va đập là để cung cấp đánh giá chi tiết hơn về các hư hỏng của thiết bị do va đập trong quá trình mở, lắp đặt hoặc sử dụng tại hiện trường.
Nó thể hiện tính toàn vẹn cơ học được khuyến nghị đối với kiến trúc, thiết kế và kỹ thuật lắp ráp của hệ thống phân phối khí, nếu các thử nghiệm khuyến nghị trong tiêu chuẩn này được hoàn thành thành công.
Khi khí được sử dụng với khối lượng đáng kể, một hệ thống phân phối khí tập trung là nhu cầu thiết thực. Hệ thống phân phối được thiết kế tốt sẽ giảm chi phí vận hành, tăng năng suất và tăng độ an toàn. Một hệ thống trung tâm cho phép hợp nhất tất cả các xi lanh vào một vị trí lưu trữ. Trong ứng dụng này, các loại khí được phân tách theo loại để tăng độ an toàn.
Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:
Trong số nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, tổ chức của chúng tôi cũng cung cấp các dịch vụ thử nghiệm cho việc truyền tải và thử nghiệm xung kích của hệ thống phân phối khí trong phạm vi tiêu chuẩn SEMI F69, với đội ngũ chuyên gia được đào tạo và thiết bị công nghệ tiên tiến.
Bạn có thể yêu cầu chúng tôi điền vào mẫu của chúng tôi để có được một cuộc hẹn, để có thêm thông tin hoặc yêu cầu đánh giá.
