
มาตรฐาน SEMI F100 ได้รับการพัฒนาภายใต้กรอบของโปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) มีวิธีการทดสอบเพื่อตรวจสอบความเข้ากันได้ของวาล์วไดอะแฟรมแต่ละตัวสำหรับหลอดเมตริกเพอร์ฟลูออโรอัลคอกซี (PFA) อย่างไรก็ตาม วิธีการทดสอบนี้ไม่ได้ผลเนื่องจากไม่ตรงตามเงื่อนไขสำหรับการรักษาสถานะปัจจุบัน มาตรฐานหรือแนวทางความปลอดภัยที่ไม่ใช้งานดังกล่าวอาจถูกดึงมาจาก SEMI และยังคงใช้ได้สำหรับการใช้งาน มาตรฐานนี้ระบุช่องเปิดที่ให้ค่าสัมประสิทธิ์การไหลต่ำสุดสำหรับวาล์วไดอะแฟรมสำหรับท่อเมตริกเพอร์ฟลูออโรอัลคอกซี (PFA) ด้วยวิธีการทดสอบนี้จะอธิบายวิธีการตรวจสอบค่าสัมประสิทธิ์การไหลของวาล์วไดอะแฟรมโดยเปรียบเทียบกับช่องเปิดที่เกี่ยวข้อง

วาล์วไดอะแฟรมเหล่านี้ใช้ในระบบจ่ายสารเคมีสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และจอแบน วาล์วทำจากวัสดุต่างๆ เช่น พอลิเตตระฟลูออโรเอทิลีนหรือเพอร์ฟลูออโรอัลคอกซี ซึ่งมีความต้านทานการกัดกร่อนสูงและมีการปนเปื้อนในของเหลวต่ำ วาล์วเหล่านี้ทนต่อแรงดันย้อนกลับได้ถึง 0,2 เมกะปาสคาล จุดประสงค์ของวาล์วปิดคือเปลี่ยนจากเปิดเต็มที่เป็นปิดสนิท
ท่อ Perfluoroalkoxy (PFA) เป็นท่อประเภทหนึ่งที่ใช้โดยหลายอุตสาหกรรมในลักษณะที่กว้างและหลากหลาย ท่อเหล่านี้มีส่วนผสมที่ผสมผสานจุดแข็งของท่อโพลีเตตระฟลูออโรเอทิลีนและเอทิลีนโพรพิลีนที่มีฟลูออไรด์เข้าด้วยกัน ทำให้ผู้ใช้ใช้ประโยชน์จากคุณสมบัติของทั้งสองได้
ท่อ PFA เป็นวัสดุที่แข็งมากจนในบางกรณีสามารถใช้แทนท่อสแตนเลสได้ บริษัทต่างๆ นิยมใช้ท่อชนิดนี้เนื่องจากมีข้อดีหลายประการ ระบบท่อนี้แข็งแรง ทนต่ออุณหภูมิและความดันสูง และยังทนต่อสารเคมีได้ดี อีกด้วย
ท่อ Perfluoroalkoxy (PFA) เป็นวัสดุที่แนะนำให้ใช้กับชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ ความยืดหยุ่นและความทนทานต่อการแตกและการแตกหักทำให้เหมาะสำหรับชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวในเครื่องจักร
ในบรรดาการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลจำนวนมากที่มีให้สำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ องค์กรของเรายังให้บริการทดสอบการปฏิบัติตามข้อกำหนดสำหรับค่าสัมประสิทธิ์การไหลต่ำสุดของวาล์วไดอะแฟรมสำหรับท่อ PFA แบบเมตริกภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F100 ด้วย พนักงานที่ผ่านการฝึกอบรมและเชี่ยวชาญและอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง
