การพัฒนาภายใต้โปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) วัตถุประสงค์ของมาตรฐาน SEMI F68 คือการกำหนดวิธีการทดสอบเพื่อกำหนดประสิทธิภาพของบ่อพักน้ำเพื่อขจัดสิ่งเจือปนในก๊าซที่ใช้งานอยู่ออกจากก๊าซเมทริกซ์ กล่าวคือมีจุดมุ่งหมายเพื่อกำหนดประสิทธิภาพของเครื่องกรองก๊าซเพื่อขจัดมลพิษบางประเภท
การทดสอบประสิทธิภาพดำเนินการโดยการเพิ่มระดับ ppm (ส่วนในหนึ่งล้าน) ของสิ่งเจือปนที่เป็นก๊าซลงในก๊าซเมทริกซ์บริสุทธิ์ และตรวจสอบการส่งออกของเครื่องฟอกอากาศทดสอบสำหรับประเภทสิ่งเจือปนที่ทำงานอยู่ การทดสอบเหล่านี้ดำเนินการที่อัตราการไหล อุณหภูมิในการทำงาน และแรงดันที่ซัพพลายเออร์แนะนำ วิธีการทดสอบที่อธิบายใช้ได้กับบ่อพักน้ำขนาดใหญ่
การทำงานที่ถูกต้องของบ่อพักน้ำใสเป็นสิ่งสำคัญในการรับมือกับข้อจำกัดบางประการ ประสิทธิภาพของบ่อพักน้ำไม่คงที่เนื่องจากปัจจัยต่างๆ เช่น การบำรุงรักษาหรือข้อจำกัดในการใช้งาน บ่อพักน้ำอาจมีประสิทธิภาพการแยกสารเล็กน้อยถึง 90 เปอร์เซ็นต์ ในขณะที่ประสิทธิภาพในความเป็นจริงอาจมีตั้งแต่ 20 เปอร์เซ็นต์ ถึง 60 เปอร์เซ็นต์ หากไม่ทราบประสิทธิภาพของบ่อพัก มีความเสี่ยงที่เชื้อเพลิงที่ไม่ต้องการจะเข้าไปในเครื่องยนต์หลักและมีความเสี่ยงสูงที่จะเกิดความเสียหาย
อนุภาคขนาดเล็กทำลายชิ้นส่วนระบบฉีดเชื้อเพลิง กัดกร่อนหัวฉีดเชื้อเพลิง และรบกวนรูปแบบการฉีดพ่น ทำให้การกระจายเชื้อเพลิงไม่สม่ำเสมอเพื่อลดโอกาสที่เชื้อเพลิงที่มีอนุภาคละเอียดในปริมาณมากจะไหลต่อไป จึงมีการใช้กระบวนการตกตะกอน การทำให้บริสุทธิ์ และการกรองร่วมกัน
โดยทั่วไป สามสถานการณ์ต่อไปนี้จะทริกเกอร์การตรวจสอบประสิทธิภาพของบ่อพัก:
ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:
องค์กรของเรา ท่ามกลางการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลที่มีให้สำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ จำนวนมาก ยังให้บริการทดสอบเพื่อกำหนดประสิทธิภาพของโรงกลั่นภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F68 ด้วยเจ้าหน้าที่ผู้เชี่ยวชาญและผ่านการฝึกอบรมและขั้นสูง อุปกรณ์เทคโนโลยี
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
