มาตรฐาน SEMI F115 ซึ่งพัฒนาขึ้นภายใต้กรอบของโครงการมาตรฐานสากลที่เรียกว่า โครงการอุปกรณ์และวัสดุเซมิคอนดักเตอร์สากล (SEMI) ซึ่งรวมถึงกิจกรรมที่เป็นประโยชน์ต่ออุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ วงจรรวม ทรานซิสเตอร์ ไดโอด และจอแสดงผลแบบแบนทั่วโลกกำหนดวิธีการทดสอบสำหรับการระบุองค์ประกอบโลหะที่ปรากฏบนพื้นผิวที่สัมผัสกับสารเคมีของระบบและส่วนประกอบการส่งสารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (UHP)
วิธีการทดสอบนี้ใช้ได้กับระบบและส่วนประกอบการนำส่งสารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ตัวอย่างการทดสอบ ได้แก่ วาล์ว ตัวควบคุม ตัวกรอง ตัวควบคุมการไหลของมวล ท่อ ชุดประกอบการเชื่อม และชุดซีลหน้า วิธีการทดสอบนี้ยังสามารถใช้เพื่อตรวจจับการปนเปื้อนจากการประกอบหรือสถานที่ผลิต
มาตรฐานดังกล่าวให้รายละเอียดวิธีการสกัดและวัดองค์ประกอบโลหะที่ถอดออกได้ด้วยน้ำบริสุทธิ์พิเศษบนพื้นผิวที่เปียก วิธีการทดสอบนี้ยังสามารถใช้เพื่อประเมินประสิทธิภาพของกระบวนการซักหรือทำความสะอาดต่างๆ
ก๊าซความบริสุทธิ์สูงพิเศษใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษโดยทั่วไปมีความเข้มข้นน้อยกว่า 100 ppb สำหรับโมเลกุลที่ระเหยง่าย เช่น ระดับสิ่งเจือปนหรือความชื้น
ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:
บริษัทของเรา ท่ามกลางการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลจำนวนมากที่มอบให้สำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ ด้วยพนักงานที่ผ่านการฝึกอบรมและเชี่ยวชาญ และอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง บริการทดสอบสำหรับการกำหนดองค์ประกอบโลหะบนพื้นผิวเปียกที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ระบบจำหน่ายสารเคมีและส่วนประกอบภายในขอบเขตมาตรฐาน SEMI F115 ยังให้
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
