มาตรฐาน SEMI F104 พัฒนาขึ้นภายใต้กรอบของโปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) อธิบายข้อกำหนดและนำเสนอวิธีการทดสอบเพื่อประเมินและเปรียบเทียบส่วนประกอบในการไหลของของเหลวในน้ำบริสุทธิ์พิเศษในแง่ของการมีส่วนร่วมของอนุภาค มาตรฐานนี้กำหนดวิธีทดสอบสองวิธีในการประเมินการมีส่วนร่วมของอนุภาค: วิธีทดสอบการล้างและวิธีทดสอบแบบไดนามิก
วิธีทดสอบทั้งสองแบบใช้กับสารเคมีเหลวและส่วนประกอบระบบน้ำบริสุทธิ์พิเศษที่มีจุดประสงค์เพื่อใช้ในเครื่องมือการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์เสริม
วิธีทดสอบที่อธิบายไว้ในมาตรฐานนี้เป็นการทดสอบเพื่อวัดการมีส่วนร่วมของอนุภาคของส่วนประกอบเมื่อใช้น้ำบริสุทธิ์พิเศษเป็นตัวกลางในการทดสอบ สำหรับวัตถุประสงค์ของมาตรฐานนี้ น้ำบริสุทธิ์พิเศษจะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดขั้นต่ำที่ระบุไว้ในมาตรฐาน เมื่อใช้วิธีการทดสอบเหล่านี้ จะใช้เครื่องมือวัดอนุภาคแบบออปติคัลของเหลวเพื่อวัดประสิทธิภาพ อุปกรณ์นี้มักใช้เป็นตัวนับอนุภาคเพื่อตรวจจับและตรวจสอบการปนเปื้อนของอนุภาคในสภาพแวดล้อมที่สะอาด เช่น อากาศ น้ำ และสารเคมี เครื่องนับอนุภาคใช้ในเทคโนโลยีอุตสาหกรรม เช่น ส่วนประกอบและส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ผลิตภัณฑ์ยาและอุปกรณ์ทางการแพทย์ น้ำมันและก๊าซ เพื่อสนับสนุนแนวทางการผลิตที่สะอาดขึ้น
ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:
นอกเหนือจากการทดสอบ การวัด การวิเคราะห์ และการประเมินผลมากมายที่องค์กรของเราให้บริการแก่ธุรกิจในหลากหลายภาคส่วนแล้ว เรายังมีบริการทดสอบเพื่อประเมินปริมาณอนุภาคในส่วนประกอบที่ใช้ในระบบจ่ายน้ำบริสุทธิ์พิเศษและสารเคมีเหลวภายใต้มาตรฐาน SEMI F104 โดยใช้บุคลากรผู้เชี่ยวชาญที่ได้รับการฝึกฝนมาอย่างดีและอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูงของเรา
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
