วิธีทดสอบ SEMI F73 สำหรับการสแกนด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM) การประเมินสภาพพื้นผิวเปียกของส่วนประกอบสแตนเลส

มาตรฐาน SEMI F73 พัฒนาขึ้นภายใต้กรอบของโปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) กำหนดวิธีการทดสอบแบบสม่ำเสมอสำหรับการทดสอบพื้นผิวเปียกของส่วนประกอบสแตนเลสสำหรับการประกอบในระบบจ่ายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง วิธีการทดสอบนี้ระบุลักษณะการเกิดขึ้น ความถี่ และในบางกรณี การระบุข้อบกพร่องของพื้นผิวด้วยกล้องจุลทรรศน์และสารปนเปื้อนที่เห็นบนพื้นผิวเปียก

มีความสัมพันธ์โดยตรงระหว่างผลลัพธ์ของวิธีการทดสอบนี้กับการปนเปื้อนของก๊าซในกระบวนการหรือผลผลิตของผลิตภัณฑ์ในกระบวนการที่ให้บริการโดยระบบจำหน่ายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง การประยุกต์ใช้วิธีทดสอบนี้มีจุดมุ่งหมายเพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่เปรียบเทียบและทำซ้ำได้ระหว่างผู้ใช้วิธีนี้หลายคนเพื่อวัตถุประสงค์ในการตรวจสอบคุณสมบัติของส่วนประกอบ

วัตถุประสงค์ของวิธีการทดสอบที่อธิบายไว้ในมาตรฐานนี้คือการกำหนดชุดพารามิเตอร์และสภาวะเครื่องมือทั่วไป ซึ่งจะทำให้สามารถวัดค่าพารามิเตอร์ที่สำคัญของสภาพพื้นผิวได้อย่างแม่นยำและทำซ้ำได้

วิธีทดสอบนี้ใช้ได้กับพื้นผิวเปียกบนท่อสแตนเลส ข้อต่อ วาล์ว และส่วนประกอบอื่นๆ เพื่อกำหนดประสิทธิภาพของการตกแต่งพื้นผิวและการบำบัดทำความสะอาด วิธีนี้ใช้เพื่อระบุข้อบกพร่องของพื้นผิวรวมถึงหลุม ตำหนิ รอยขีดข่วน รอยกระบวนการตกค้าง ขอบเกรน และการปนเปื้อนบนพื้นผิวที่เปียก อย่างไรก็ตาม ควรแยกความเสียหายของพื้นผิวใดๆ ที่เกิดขึ้นระหว่างการเตรียมตัวอย่างออกจากการประเมินนี้

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM) เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนที่ใช้ลำแสงอิเล็กตรอนที่โฟกัสเพื่อสแกนและถ่ายภาพพื้นผิวตัวอย่าง อิเล็กตรอนมีปฏิกิริยากับอะตอมในตัวอย่างและสร้างสัญญาณต่างๆ ที่มีข้อมูลเกี่ยวกับองค์ประกอบบนพื้นผิวตัวอย่าง อุปกรณ์สแกนมาตรฐานเหมาะสำหรับการตรวจสอบพื้นผิวแห้งและนำไฟฟ้าในสุญญากาศสูง อย่างไรก็ตาม ยังมีอุปกรณ์สแกนที่ทำงานในสภาวะสุญญากาศต่ำ ความชื้น และสภาวะต่างๆ ตั้งแต่อุณหภูมิต่ำมากไปจนถึงสูง

นอกเหนือจากการทดสอบ การวัด การวิเคราะห์ และการประเมินผลมากมายที่องค์กร ของเราให้บริการแก่ธุรกิจในหลากหลายภาคส่วนแล้ว เรายังมีบริการทดสอบเพื่อประเมินสภาพพื้นผิวเปียกของชิ้นส่วนสแตนเลสโดยใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน (SEM) ภายใต้ขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F73 ด้วยทีมงานผู้เชี่ยวชาญที่ได้รับการฝึกฝนมาอย่างดีและอุปกรณ์เทคโนโลยีที่ทันสมัย