วิธีทดสอบ SEMI F76 สำหรับการประเมินการมีส่วนร่วมของอนุภาคจากส่วนประกอบระบบแก๊สที่สัมผัสกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

วิธีทดสอบ SEMI F76 สำหรับการประเมินการมีส่วนร่วมของอนุภาคจากส่วนประกอบระบบแก๊สที่สัมผัสกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

มาตรฐาน SEMI F76 ซึ่งพัฒนาขึ้นภายใต้โครงการมาตรฐานสากลที่เรียกว่า Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) กำหนดวิธีการทดสอบสำหรับการเปรียบเทียบส่วนประกอบในการประมวลผลก๊าซเพื่อตรวจสอบศักยภาพในการสร้างอนุภาคในสภาพแวดล้อมที่มีก๊าซกัดกร่อน มาตรฐานนี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อเป็นวิธีปฏิบัติในการสร้างข้อมูลประสิทธิภาพสำหรับกลุ่มส่วนประกอบที่จะนำมาเปรียบเทียบในกระบวนการคัดเลือก วิธีการทดสอบที่อธิบายไว้นี้สามารถใช้ได้กับวาล์ว ตัวกรองอนุภาค และตัวควบคุมแรงดันต่ำ

วิธีทดสอบ SEMI F76 สำหรับการประเมินการมีส่วนร่วมของอนุภาคจากส่วนประกอบระบบแก๊สที่สัมผัสกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน

มาตรฐาน SEMI ให้คำแนะนำแก่ผู้ผลิตเกี่ยวกับกระบวนการทางเคมีและวัสดุที่เกี่ยวข้องกับการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องอื่นๆ ด้วยมาตรฐานเหล่านี้ บริษัทต่างๆ สามารถเข้าสู่ตลาดต่างประเทศ ลดความเสี่ยงในการออกแบบและเพิ่มผลผลิต

สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ความบริสุทธิ์สูง ทนต่อสารเคมี ความหนาแน่น และความแม่นยำเป็นเครื่องมือสำคัญสำหรับการพัฒนาผลิตภัณฑ์และกระบวนการผลิต วัสดุเซมิคอนดักเตอร์เป็นวัสดุที่ได้รับคุณสมบัติการนำไฟฟ้าโดยได้รับผลกระทบจากงานกลที่ใช้กับวัสดุเหล่านี้ วัสดุเหล่านี้ซึ่งเป็นฉนวนภายใต้สภาวะปกติ จะปล่อยอิเล็กตรอนบางส่วนออกมาและกลายเป็นสื่อกระแสไฟฟ้าเมื่อผลกระทบภายนอก เช่น ความร้อน แสง ผลแม่เหล็ก หรือแรงดันไฟฟ้าถูกนำไปใช้ เมื่อขจัดผลกระทบภายนอกที่นำมาใช้นี้ สารเหล่านี้จะกลับสู่สถานะเป็นฉนวนอีกครั้ง ด้วยคุณสมบัติเหล่านี้ เซมิคอนดักเตอร์จึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านอิเล็กทรอนิกส์

มาตรฐาน SEMI ยังเกี่ยวข้องกับแหล่งก๊าซที่จัดเก็บ / บีบอัดและระบบจำหน่าย นอกจากนี้ยังหมายถึงก๊าซเสริมที่เป็นพิษสูงโดยทั่วไปในระหว่างขั้นตอนการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูง

ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:

  • ข้อมูลจำเพาะสำหรับไนโตรเจน SEMI C59
  • วิธีทดสอบ SEMI E66 สำหรับกำหนดการมีส่วนร่วมของอนุภาคโดยตัวควบคุมการไหลของมวล
  • เครื่องกรองก๊าซแบบใช้จุดใช้งาน SEMI F43 และตัวกรองก๊าซ ตลอดจนวิธีทดสอบสำหรับการตรวจวัดสารเติมแต่งอนุภาค

องค์กรของเรา ในบรรดาการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลที่มีให้สำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ ยังให้บริการทดสอบสำหรับการประเมินการมีส่วนร่วมของอนุภาคจากส่วนประกอบระบบแก๊สที่สัมผัสกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F76 ด้วย พนักงานที่ผ่านการฝึกอบรมและเชี่ยวชาญและอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง

WhatsApp