วิธีทดสอบอุปกรณ์กรองพัดลม SEMI F111 (EFFU) สำหรับการกำจัดอนุภาค

มาตรฐาน SEMI F111 ซึ่งพัฒนาขึ้นภายใต้กรอบของโครงการมาตรฐานสากลที่เรียกว่า Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) ซึ่งครอบคลุมกิจกรรมที่เป็นประโยชน์ต่ออุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ วงจรรวม ทรานซิสเตอร์ ไดโอด และจอแสดงผลแบบแบนทั่วโลกกำหนดวิธีการทดสอบสำหรับการวัดความสามารถในการกำจัดอนุภาคของหน่วยกรองอากาศแบบพัดลม (EFFU) ที่ติดตั้งอยู่ภายในอุปกรณ์

เนื่องจากมีตัวกรองอนุภาคพัดลม พัดลม และมอเตอร์ติดตั้งอยู่ภายในอุปกรณ์ ความสมบูรณ์ของชิ้นส่วนเหล่านี้จึงมีความสำคัญมากต่อประสิทธิภาพของหน่วยกรองพัดลมของอุปกรณ์ ดังนั้น วิธีทดสอบการกำจัดอนุภาคแบบทั่วไปสำหรับตัวกรองอนุภาคจึงเหมาะสำหรับการประเมินประสิทธิภาพการกำจัดอนุภาคของหน่วยกรองพัดลมของอุปกรณ์

วิธีทดสอบที่อธิบายในมาตรฐานนี้อธิบายวิธีการประเมินสำหรับอุปกรณ์กรองพัดลมที่ติดตั้งในพื้นที่จำกัดเพื่อกำจัดอนุภาคที่ผลิตขึ้นภายในอุปกรณ์ในกระบวนการ ประสิทธิภาพการกำจัดอนุภาคของอุปกรณ์กรองพัดลมโดยทั่วไปขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพของสื่อกรองและอัตราการไหลของอากาศ เพื่อให้เข้าใจถึงประสิทธิภาพของหน่วยกรองพัดลมของอุปกรณ์ จำเป็นต้องพิจารณาข้อกำหนดของสื่อกรอง อัตราการไหลของอากาศ และความสมบูรณ์ของชิ้นส่วนหน่วยกรองพัดลมของอุปกรณ์พร้อมๆ กัน โดยย่อ วิธีการทดสอบนี้มีจุดมุ่งหมายเพื่อแสดงประสิทธิภาพของระบบของหน่วยกรองพัดลมของอุปกรณ์

อุปกรณ์กรองพัดลมเป็นอุปกรณ์กรองอากาศแบบใช้มอเตอร์ มันถูกใช้เพื่อกำจัดอนุภาคในอากาศที่เป็นอันตรายออกจากอากาศแวดล้อม และเพื่อจัดหาอากาศบริสุทธิ์ไปยังห้องสะอาด ห้องปฏิบัติการ สถานพยาบาล หรือสภาพแวดล้อมขนาดเล็ก หน่วยเหล่านี้มักจะมีตัวกรองของตัวเอง แผ่นกรอง HEPA และการกระจายอากาศของพัดลมที่ควบคุมภายใน อุปกรณ์กรองพัดลมเป็นอุปกรณ์ที่ยืดหยุ่นและประหยัดสำหรับการกำจัดอนุภาคออกจากอุปกรณ์ระบายอากาศทางเดียว

ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:

• วิธีทดสอบ SEMI F38 สำหรับคุณสมบัติประสิทธิภาพของตัวกรองก๊าซ ณ จุดใช้งาน

ท่ามกลางการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลจำนวนมากที่มีให้สำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ องค์กรของเรายังให้บริการทดสอบสำหรับการทำความสะอาดอนุภาคของหน่วยกรองพัดลม (EFFU) ภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F111 โดยมีเจ้าหน้าที่ที่ผ่านการฝึกอบรมและเชี่ยวชาญ และอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง