มาตรฐาน SEMI F106 ได้รับการพัฒนาภายใต้กรอบของโปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) ซึ่งรวมถึงกิจกรรมเพื่อประโยชน์ของอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ วงจรรวม ทรานซิสเตอร์ ไดโอด และจอแบนทั่วโลก มาตรฐาน SEMI FXNUMX ได้รับการรับรองทางเทคนิค โดย Gases Global Technical Committee. เป็นมาตรฐาน. มาตรฐานนี้อธิบายวิธีการทดสอบสำหรับการตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียมภายในสำหรับระบบจำหน่ายก๊าซ มาตรฐานนี้ครอบคลุมทั้งระบบซีลหน้าโลหะทั่วไปและระบบจ่ายก๊าซที่ติดตั้งบนพื้นผิว
วิธีทดสอบที่นำเสนอนี้ใช้ได้กับระบบจำหน่ายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงทุกประเภทที่ใช้ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์และพื้นที่การวิจัยและพัฒนาที่เทียบเท่ากัน
การทดสอบการรั่วของฮีเลียมใช้เพื่อตรวจหารอยรั่วที่อาจเกิดขึ้นได้ในระบบปิดหรือปิดผนึกประเภทต่างๆ ที่ใช้ฮีเลียมเป็นก๊าซตามรอย ด้วยการทดสอบนี้ ความเข้มข้นของการรั่วไหล (การรั่วไหล) จะถูกวัดและกำหนดเป็นอัตราการรั่ว
คุณสมบัติหลักที่สำคัญของก๊าซฮีเลียมที่ทำให้เหมาะสำหรับการทดสอบการรั่วซึม ได้แก่
กล่าวโดยย่อ วิธีทดสอบที่ใช้ฮีเลียมเป็นเทคโนโลยีทดสอบการรั่วที่มีความไวสูง ซึ่งมาพร้อมกับการตรวจจับการรั่วที่มีขนาดเล็กมาก ซึ่งไม่สามารถทำได้ด้วยวิธีการทดสอบการรั่วแบบอื่น ใช้เทคนิคสุญญากาศสูงในระหว่างการทดสอบนี้ มีเกณฑ์การทดสอบการรั่วที่ต่ำมาก ซึ่งเป็นระดับความไวที่ช่วยให้สามารถเปรียบเทียบระหว่างส่วนประกอบต่างๆ ของแพ็คเกจได้อย่างเหนือชั้น
องค์กรของเรา ในบรรดาการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลที่มีให้สำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ จำนวนมาก ยังให้บริการทดสอบเพื่อกำหนดความสมบูรณ์ของการรั่วไหลของระบบจ่ายก๊าซด้วยเครื่องตรวจจับการรั่วของฮีเลียมภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F106 ด้วย พนักงานที่ผ่านการฝึกอบรมและเชี่ยวชาญและอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
