มาตรฐาน SEMI F114 พัฒนาขึ้นภายใต้กรอบของโปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) กำหนดวิธีการทดสอบเพื่อกำหนดสารประกอบอินทรีย์บนพื้นผิวเปียกของระบบและส่วนประกอบการส่งสารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (UHP)
วิธีการทดสอบนี้ใช้ได้กับระบบและส่วนประกอบการนำส่งสารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ตัวอย่างทดสอบประกอบด้วยวาล์ว ตัวควบคุม ตัวกรองและตัวควบคุมการไหลของมวล ท่อ อุปกรณ์เชื่อม และอุปกรณ์ซีลหน้า วิธีการทดสอบที่อธิบายไว้ยังใช้เพื่อตรวจจับการปนเปื้อนจากการประกอบหรือพื้นที่การผลิต วิธีทดสอบนี้ให้รายละเอียดวิธีการกำจัดและตรวจวัดสารปนเปื้อนอินทรีย์ที่พบในพื้นผิวเปียก
โดยย่อ วิธีการทดสอบนี้สามารถใช้เพื่อประเมินประสิทธิภาพของกระบวนการซักหรือทำความสะอาดต่างๆ
ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:
สารมลพิษอินทรีย์ หมายถึง สารเคมีที่มีคาร์บอนเป็นองค์ประกอบ เช่น ตัวทำละลายอินทรีย์ สารกำจัดศัตรูพืช ของเสียจากปิโตรเลียม ไม้ และสารประกอบระเหยง่ายในสถานะก๊าซหรือของเหลว โดยทั่วไปแล้ว สารมลพิษอินทรีย์ส่งผลกระทบเชิงลบต่อสิ่งแวดล้อม แม้แต่สารตกค้างของสารมลพิษอินทรีย์ในปริมาณเล็กน้อยที่พบในดิน น้ำ อากาศ และบางครั้งในอาหารก็ถือว่าเป็นอันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์และสิ่งแวดล้อม สารมลพิษอินทรีย์ในสถานะก๊าซหรือของเหลวอาจรวมถึงตัวทำละลาย สารตั้งต้นและสารตัวกลางทางเคมี และสารประกอบอินทรีย์ระเหยง่าย (VOCs) ในรูปของสารประกอบปิโตรเลียม
องค์กรของเราให้บริการทดสอบสำหรับการตรวจวัดสารมลพิษอินทรีย์บนพื้นผิวเปียกของระบบการจ่ายสารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษและส่วนประกอบภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F114 โดยมีเจ้าหน้าที่ผู้เชี่ยวชาญและผ่านการฝึกอบรมมาเป็นอย่างดี และอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง ท่ามกลางการทดสอบและการวัดจำนวนมาก , วิเคราะห์และประเมินผลการศึกษาให้กับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ ยังให้
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
