วิธีทดสอบ SEMI F72Auger สำหรับการทดสอบ Electron Spectroscopy (AES) ของพื้นผิวเปียกของส่วนประกอบเหล็กกล้าไร้สนิม 316L แบบพาสซีฟ

ได้รับการพัฒนาภายใต้โปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) จุดประสงค์ของมาตรฐาน SEMI F72 คือการอธิบายวิธีการทดสอบเพื่อกำหนดลักษณะองค์ประกอบพื้นผิวของส่วนประกอบสแตนเลส 316L แบบพาสซีฟที่พิจารณาสำหรับการติดตั้งในระบบจำหน่ายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง . วิธีการทดสอบนี้ออกแบบมาเพื่อใช้กับพื้นผิวเปียกของท่อสแตนเลส ข้อต่อ วาล์ว และส่วนประกอบอื่นๆ เพื่อวัดประสิทธิภาพในการทู่ผิว กระบวนการทู่เป็นกระบวนการทำให้เป็นกลางบนเหล็กหลังจากใช้กรดขจัดสนิม

จุดประสงค์ของวิธีการทดสอบนี้คือการกำหนดชุดพารามิเตอร์และเงื่อนไขทั่วไปของเครื่องมือที่จะได้รับการวัดที่ทำซ้ำได้ภายในชั้นพาสซีฟออกไซด์ที่เสริมโครเมียม วิธีการทดสอบนี้จัดทำขึ้นเพื่อกำหนดลักษณะองค์ประกอบและความหนาของชั้นออกไซด์ที่เสริมด้วยโครเมียมของพื้นผิวสแตนเลส และเพื่อตรวจหาการปนเปื้อนที่พื้นผิวในท่อ ข้อต่อ วาล์ว และส่วนประกอบอื่นๆ วิธีการนี้เกี่ยวข้องกับการตรวจจับและวัดองค์ประกอบขององค์ประกอบพื้นผิวโดย Auger electron spectroscopy (AES) วิธีการทดสอบนี้ยังอธิบายวิธีการทดสอบสำหรับโปรไฟล์องค์ประกอบเชิงลึกของโครเมียม เหล็ก นิกเกิล ออกซิเจน และคาร์บอนที่ขยายออกจากพื้นผิวที่ถ่ายผ่านชั้นออกไซด์และเข้าไปในโลหะพื้นฐาน การวัดนี้ให้ข้อมูลเกี่ยวกับความหนาของออกไซด์และการเสริมโครเมียมทั่วทั้งบริเวณที่ไม่มีสารกัมมันตภาพรังสี

การใช้สเปกโตรสโคปีอิเล็กตรอนของ Auger (AES) ตัวอย่างจะถูกทิ้งระเบิดด้วยอิเล็กตรอนที่มีพลังงานสูง และอิเล็กตรอนบางตัวจะถูกลบออกจากอะตอมเป้าหมายและอะตอมจะแตกตัวเป็นไอออน เนื่องจากอะตอมที่แตกตัวเป็นไอออนไม่เสถียร อิเล็กตรอนจากวงโคจรชั้นนอกจะเติมตำแหน่งว่างของอิเล็กตรอนในวงโคจรชั้นใน วิธีนี้เป็นเทคนิคการวิเคราะห์ภาพที่ทรงพลังมาก

ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:

• ข้อมูลจำเพาะสำหรับ SEMI C57 Argon
• ข้อมูลจำเพาะสำหรับไนโตรเจน SEMI C59

องค์กรของเรา ท่ามกลางการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลจำนวนมากที่มอบให้กับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ ด้วยเจ้าหน้าที่ที่ผ่านการฝึกอบรมและเชี่ยวชาญ และอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง วิธีการทดสอบสำหรับ Auger electron spectroscopy (AES) ภายในขอบเขตของ SEMI มาตรฐาน F72 คือวิธีทดสอบออกไซด์ของพื้นผิวเปียกของส่วนประกอบสแตนเลส 316L แบบพาสซีฟ นอกจากนี้ ยังให้บริการทดสอบสำหรับการประเมินชั้นอีกด้วย