มาตรฐาน SEMI F80 ได้รับการพัฒนาภายใต้กรอบของโปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) ซึ่งรวมถึงกิจกรรมเพื่อประโยชน์ของอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ วงจรรวม ทรานซิสเตอร์ ไดโอด และจอแบนทั่วโลก มาตรฐาน SEMI FXNUMX ได้รับการรับรองทางเทคนิค โดย Gases Global Technical Committee. เป็นมาตรฐาน. มาตรฐานนี้อธิบายวิธีการทดสอบเพื่อกำหนดประสิทธิภาพการแลกเปลี่ยนก๊าซ/การทำความสะอาดของระบบจำหน่ายก๊าซ มาตรฐานนี้ครอบคลุมทั้งระบบการซีลโลหะแบบทั่วไปและระบบจ่ายก๊าซแบบติดตั้งบนพื้นผิว วิธีการทดสอบนี้เหมาะสำหรับระบบจำหน่ายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงทั้งหมดที่ใช้ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์และพื้นที่การวิจัยและพัฒนาที่เทียบเท่ากัน
สิ่งสำคัญคือต้องกำจัดอากาศแวดล้อมออกจากทุกส่วนของระบบท่อก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงก่อนที่จะนำก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิตมาใช้ นี่เป็นสิ่งจำเป็นด้วยเหตุผลสองประการ:
จำเป็นต้องกำจัดก๊าซในกระบวนการออกจากส่วนใดส่วนหนึ่งของระบบท่อก่อนที่จะสัมผัสกับอากาศแวดล้อม เหตุผลสำหรับสิ่งนี้สามารถระบุได้ดังนี้:
นอกเหนือจากการทดสอบ การวัด การวิเคราะห์ และการประเมินผลมากมายที่องค์กรของเราให้บริการแก่ธุรกิจในหลากหลายภาคส่วนแล้ว เรายังมีบริการทดสอบเพื่อกำหนดประสิทธิภาพการแลกเปลี่ยน/ระบายก๊าซของระบบจ่ายก๊าซภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F80 ด้วยทีมงานผู้เชี่ยวชาญที่ได้รับการฝึกฝนมาอย่างดีและอุปกรณ์เทคโนโลยีที่ทันสมัย
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
