วิธีทดสอบ SEMI F112 สำหรับการกำหนดคุณสมบัติการทำให้แห้งด้วยความชื้นของระบบจำหน่ายก๊าซแบบติดตั้งบนพื้นผิวและแบบธรรมดาโดยเครื่องสเปกโตรสโคปีแบบวงแหวนโพรง (CRDS)

มาตรฐาน SEMI F112 ได้รับการพัฒนาภายใต้กรอบของโปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) มุ่งเน้นไปที่การกำหนดลักษณะการอบแห้งด้วยความชื้น (เช่น ปริมาณความชื้นที่สกัดได้) ของตัวยึดพื้นผิวของระบบจำหน่ายก๊าซแบบบูรณาการและก๊าซทั่วไป ระบบจำหน่ายโดยใช้เครื่องวิเคราะห์สเปกโตรสโคปีของวงแหวนอวกาศ (CRDS) วิธีการทดสอบถูกกำหนดไว้สำหรับ

ผลลัพธ์ของวิธีการทดสอบนี้ใช้สำหรับการจัดอันดับคุณภาพของระบบจำหน่ายก๊าซตามการออกแบบ นอกจากนี้ยังสามารถใช้โดยผู้ใช้ที่มีความรู้เพียงพอเป็นอินพุตสำหรับการจำลองเชิงตัวเลขของพฤติกรรมของระบบจำหน่ายก๊าซ

ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:

วิธีทดสอบสำหรับมาตรฐานความชื้น SEMI C15 ppm และ ppb
SEMI F1 คุณสมบัติการรั่วไหลของระบบท่อและส่วนประกอบที่มีความบริสุทธิ์สูง

Space-ring spectroscopy (CRDS) เป็นเทคนิคที่รู้จักกันดีและใช้กันอย่างแพร่หลายในการตรวจสอบความชื้นในก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และการผลิต LED ตลอดจนในอุตสาหกรรมการผลิต การขนส่ง และการกระจายก๊าซและเคมีภัณฑ์ ประโยชน์ของเทคนิคการตรวจสอบความชื้นที่แม่นยำและคุ้มค่ากำลังดึงดูดความสนใจของผู้ออกมาตรฐานอุตสาหกรรม เช่น SEMI

วิธีทดสอบที่นำเสนอในมาตรฐาน SEMI F112 ช่วยให้ผู้ใช้สามารถประเมินคุณภาพและจัดอันดับระบบการจ่ายก๊าซตามการออกแบบของพวกเขา มาตรฐานนี้ครอบคลุมขอบเขตการใช้งานหลักดังต่อไปนี้:

ระบบจำหน่ายก๊าซแบบติดตั้งบนพื้นผิว
ระบบจำหน่ายแก๊สทั่วไป
คุณสมบัติของระบบท่อใหม่
คุณสมบัติของการออกแบบการจ่ายก๊าซใหม่

โดยทั่วไป มาตรฐาน SEMI เป็นข้อตกลงทางเทคนิคโดยสมัครใจระหว่างซัพพลายเออร์และลูกค้าที่มุ่งปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์และความน่าเชื่อถือผ่านการจัดหาที่มีเสถียรภาพ มาตรฐานเหล่านี้รับรองความเข้ากันได้ของผลิตภัณฑ์ทั่วโลกเพื่อตอบสนองความท้าทายในการเพิ่มผลผลิตในขณะที่ให้โอกาสทางธุรกิจทั่วโลก

องค์กรของเรา ท่ามกลางการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลจำนวนมากที่มอบให้กับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ ด้วยเจ้าหน้าที่ที่ผ่านการฝึกอบรมและเชี่ยวชาญ และอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง ภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F112 คุณสมบัติการทำให้แห้งด้วยความชื้นของการติดตั้งบนพื้นผิวและ ระบบจำหน่ายก๊าซแบบธรรมดาพร้อมสเปกโตรสโคปีของวงแหวนอวกาศ (CRDS) นอกจากนี้ยังให้บริการทดสอบเพื่อกำหนด