มาตรฐาน SEMI F69 ได้รับการพัฒนาภายใต้โปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) ซึ่งเป็นมาตรฐานที่ได้รับการรับรองทางเทคนิคโดย Gases Global Technical Committee มาตรฐานนี้จัดเตรียมวิธีการทดสอบเพื่อกำหนดลักษณะความสมบูรณ์ทางกลของระบบจ่ายก๊าซผ่านการทดสอบการสั่นสะเทือนและการกระแทก วิธีทดสอบที่แนะนำในที่นี้ ได้แก่ การสั่นสะเทือน (การจำลองการขนส่ง) และการทดสอบแรงกระแทกของระบบจ่ายก๊าซ (รวมถึงการติดตั้งแบบธรรมดาและการยึดบนพื้นผิว) สำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์
วิธีทดสอบที่กำหนดไว้ในมาตรฐาน SEMI F69 ใช้กับระบบจำหน่ายก๊าซที่ไม่ได้บรรจุหีบห่อสำหรับการขนส่ง โดยเฉพาะอย่างยิ่ง วิธีทดสอบใช้กับส่วนประกอบการจ่ายก๊าซที่ประกอบและเชื่อมต่อถึงกัน และแผงยึดที่เกี่ยวข้อง โดยมีหรือไม่มีแผ่นป้องกันโลหะแผ่น
สำหรับวัตถุประสงค์ของมาตรฐานนี้ การสั่นสะเทือนและการจำลองการขนส่งคาดว่าจะสูงกว่าปกติที่ระดับการสั่นสะเทือนที่ใช้งานอยู่ ดังนั้น การทดสอบการจำลองการขนส่งจึงเป็นที่ยอมรับในการประเมินความสมบูรณ์ทางกลที่เพียงพอสำหรับความเครียดจากการสั่นสะเทือนในการขนส่งและตลอดวงจรชีวิตของระบบการจ่ายก๊าซ
จุดประสงค์ของการทดสอบแรงกระแทกคือเพื่อให้การประเมินรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับความล้มเหลวของอุปกรณ์ที่เกิดจากการกระแทกในระหว่างการแกะ การติดตั้ง หรือการใช้งานภาคสนาม
แสดงถึงความสมบูรณ์ทางกลที่แนะนำสำหรับสถาปัตยกรรม การออกแบบ และเทคนิคการประกอบระบบจำหน่ายก๊าซ เมื่อเสร็จสิ้นการทดสอบที่แนะนำในมาตรฐานนี้แล้ว
เมื่อใช้ก๊าซในปริมาณมาก ระบบจำหน่ายก๊าซแบบรวมศูนย์จึงมีความจำเป็นในทางปฏิบัติ ระบบจำหน่ายที่ออกแบบมาอย่างดีช่วยลดต้นทุนการดำเนินงาน เพิ่มผลผลิต และเพิ่มความปลอดภัย ระบบส่วนกลางช่วยให้รวมกระบอกสูบทั้งหมดไว้ในที่จัดเก็บแห่งเดียว ในแอปพลิเคชันนี้ ก๊าซจะถูกแยกตามประเภทของก๊าซเพื่อเพิ่มความปลอดภัย
ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:
ท่ามกลางการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลจำนวนมากที่มีให้สำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ องค์กรของเรายังให้บริการทดสอบสำหรับการส่งและการทดสอบแรงกระแทกของระบบการจ่ายก๊าซภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F69 ด้วยเจ้าหน้าที่ผู้เชี่ยวชาญและผ่านการฝึกอบรมและ อุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
