มาตรฐาน SEMI F 64 ซึ่งพัฒนาขึ้นภายใต้กรอบของโครงการมาตรฐานสากลที่เรียกว่า Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) ซึ่งครอบคลุมกิจกรรมที่เป็นประโยชน์ต่ออุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ วงจรรวม ทรานซิสเตอร์ ไดโอด และจอแสดงผลแบบแบนทั่วโลก ได้กำหนดวิธีการทดสอบสำหรับการตรวจสอบคุณสมบัติของตัวควบคุมการไหลของมวลที่ออกแบบมาเพื่อติดตั้งในระบบจ่ายก๊าซ วิธีการทดสอบนี้ใช้เพื่อกำหนดผลกระทบของสภาวะความดันขาเข้าและขาออกทั้งในสภาวะชั่วคราวและสภาวะคงที่ต่อประสิทธิภาพของตัวควบคุมการไหลของมวล
วิธีการทดสอบนี้เป็นพื้นฐานทั่วไปสำหรับการสื่อสารระหว่างผู้ผลิตและผู้ใช้เกี่ยวกับการทดสอบและคำอธิบายเกี่ยวกับผลกระทบของแรงดันตัวควบคุมการไหลของมวล
ด้วยวิธีการทดสอบนี้ จะกำหนดผลกระทบของแรงดันชั่วขณะต้นน้ำ (ขาเข้า) และปลายน้ำ (การไหลออก) ต่อการไหลที่ระบุและตามจริง วิธีการทดสอบนี้ให้ผลลัพธ์ของการไหลของทางออกจริงเทียบกับค่ากำหนดของตัวควบคุมการไหลและการไหลของมวลที่ระบุซึ่งได้รับผลกระทบจากแรงดันขาเข้าในสภาวะคงตัว วิธีนี้ใช้กับตัวควบคุมการไหลของมวลที่มีช่วงการไหลสูงสุดถึง 1000 sccm (ลูกบาศก์เซนติเมตรมาตรฐานต่อนาที)
ความดันที่เพิ่มขึ้นทำให้ก๊าซถูกบีบอัด ก๊าซมีความหนาแน่นสูงกว่าและใช้ปริมาตรน้อยกว่า กล่าวอีกนัยหนึ่งถ้ามวลของก๊าซไหลผ่าน ปริมาตรของก๊าซก็จะเล็กลง เนื่องจากก๊าซมวลเท่ากันไหลผ่านท่อเดียวกัน ความเร็วของก๊าซอัดจึงลดลง
ในการใช้งานแก๊ส ความผันผวนของแรงดันแก๊สอาจส่งผลต่อความเร็วของแก๊ส ซึ่งส่งผลต่อเครื่องมือวัดการไหลของก๊าซอย่างมีนัยสำคัญ
โดยพื้นฐานแล้ว การไหลคือการวัดปริมาณอากาศที่ส่งออกต่อหน่วยเวลา ความเร็วหมายถึงความเร็วของอากาศต่อหน่วยเวลา ความดันคือการวัดแรงที่ใช้กับพื้นที่
ในบรรดาการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลจำนวนมากที่บริษัทของเราจัดเตรียมไว้สำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ ด้วยพนักงานที่ผ่านการฝึกอบรมและเชี่ยวชาญ และอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง บริการทดสอบสำหรับการกำหนดผลกระทบของแรงดันต่อการไหลจริงและแสดงให้เห็นสำหรับมวล อุปกรณ์ควบคุมการไหลภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F64 ให้
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
