มาตรฐาน SEMI F70 ได้รับการพัฒนาภายใต้โปรแกรมมาตรฐานสากลที่เรียกว่า International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) เป็นมาตรฐานที่ได้รับการรับรองทางเทคนิคโดย Gases Global Technical Committee มาตรฐานนี้มีจุดประสงค์เพื่อให้เป็นวิธีการมาตรฐานและวิธีการทดสอบสำหรับการวัดสมรรถนะการเติมอนุภาคของระบบจ่ายก๊าซในแง่ของจำนวนอนุภาคที่เติมเข้าไปในก๊าซที่ไหลผ่านระบบ ขั้นตอนมาตรฐานนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อใช้กันอย่างแพร่หลายโดยซัพพลายเออร์ระบบจำหน่ายก๊าซ ซัพพลายเออร์อุปกรณ์ และผู้ใช้ปลายทาง
วิธีทดสอบนี้ใช้กับระบบจ่ายก๊าซแบบติดตั้งบนพื้นผิวทั่วไปที่ใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ในระหว่างการทดสอบ มาตรฐาน SEMI F70.1-0320 ที่แนบมากับมาตรฐานนี้จะถูกนำมาพิจารณาด้วย (วิธีทดสอบเพื่อกำหนดการมีส่วนร่วมของอนุภาคของระบบจ่ายก๊าซและส่วนประกอบโดยการทดสอบการกระแทก)
ข้อพิจารณาที่สำคัญที่สุดประการหนึ่งในการออกแบบระบบการจ่ายก๊าซคือระดับความบริสุทธิ์ของก๊าซที่จำเป็นในแต่ละจุดใช้งาน การรักษาความบริสุทธิ์ของก๊าซทำได้ง่ายขึ้นด้วยระบบรวมศูนย์ การเลือกใช้วัสดุสำหรับการติดตั้งต้องสม่ำเสมอตลอด ตัวอย่างเช่น หากใช้ก๊าซเกรดวิจัย ควรใช้โครงสร้างสแตนเลสทั้งหมดและวาล์วปิดแบบไม่มีไดอะแฟรมเพื่อป้องกันการปนเปื้อนของกระแสก๊าซ โดยทั่วไป มีระดับความบริสุทธิ์สามระดับเพื่ออธิบายการใช้งานเกือบทุกประเภท: ความบริสุทธิ์อเนกประสงค์ ความบริสุทธิ์สูง และความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ
มาตรฐานและหลักปฏิบัติด้านความปลอดภัยของ SEMI ไม่ได้เรียกร้องให้แก้ไขปัญหาด้านความปลอดภัยทั้งหมดสำหรับการใช้งาน เป็นความรับผิดชอบของผู้ใช้มาตรฐานในการกำหนดแนวทางปฏิบัติด้านความปลอดภัยและสุขภาพที่เหมาะสม และเพื่อกำหนดความบังคับใช้ของข้อจำกัดจากการใช้งาน
กล่าวโดยย่อ จุดประสงค์ของมาตรฐาน SEMI F70 คือการจัดเตรียมวิธีการวัดประสิทธิภาพการเติมอนุภาคของระบบจ่ายก๊าซในแง่ของจำนวนอนุภาคที่เติมลงในก๊าซที่ไหลผ่านระบบ
ขณะเตรียมมาตรฐานนี้ มาตรฐาน SEMI ต่อไปนี้ถูกนำมาใช้เป็นข้อมูลอ้างอิง:
ท่ามกลางการศึกษาทดสอบ การวัด วิเคราะห์ และประเมินผลจำนวนมากที่มีให้สำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ องค์กรของเรายังให้บริการทดสอบสำหรับการกำหนดการมีส่วนร่วมของอนุภาคของระบบการจ่ายก๊าซภายในขอบเขตของมาตรฐาน SEMI F70 ด้วยการฝึกอบรมและ เจ้าหน้าที่ผู้เชี่ยวชาญและอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูง
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
