Överensstämmelsetestmetod för minsta flödeskoefficient för membranventil för SEMI F100 metriskt PFA-rör

Överensstämmelsetestmetod för minsta flödeskoefficient för membranventil för SEMI F100 metriskt PFA-rör

Utvecklad inom ramen för ett internationellt standardprogram kallat International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), tillhandahåller SEMI F100-standarden en testmetod för att verifiera kompatibiliteten hos varje membranventil för det metriska perfluoroalkoxiröret (PFA). Denna testmetod är dock ineffektiv eftersom villkoren för att bibehålla det nuvarande tillståndet inte är uppfyllda. Sådana inaktiva standarder eller säkerhetsriktlinjer kan hämtas från SEMI och förbli giltiga för användning. Denna standard specificerar öppningen som ger minsta flödeskoefficient för membranventilen för det metriska perfluoroalkoxiröret (PFA). Med denna testmetod förklarar den hur man verifierar membranventilens flödeskoefficient genom att jämföra den med motsvarande öppning.

Överensstämmelsetestmetod för minsta flödeskoefficient för membranventil för SEMI F100 metriskt PFA-rör

Dessa membranventiler används i kemiska distributionssystem för tillverkning av halvledar- och plattskärmar. Ventiler är gjorda av material som polytetrafluoretylen eller perfluoroalkoxi, som har hög korrosionsbeständighet och låg kontaminering av vätskan. Dessa ventiler tål upp till 0,2 megapascal mottryck. Syftet med avstängningsventilen är att växla från helt öppen till helt stängd.

Perfluoralkoxi (PFA) rör är en typ av rör som används av många industrier på ett brett och varierat sätt. Dessa rör innehåller en kombination som kombinerar styrkorna hos både polytetrafluoreten och fluorerade etenpropenrör, vilket gör att användarna kan dra fördel av bådas egenskaper.

PFA-rör är ett så hårt material att de i vissa fall till och med ersätter rör i rostfritt stål. De föredras av företag på grund av sina många fördelar. Detta rörsystem är starkt mot höga temperaturer och tryck, och är även resistent mot kemikalier.

Perfluoralkoxi (PFA) rör är det föredragna materialet för rörliga element. Dess flexibilitet och motståndskraft mot sprickor och brott gör den perfekt för rörliga delar i maskiner.

Bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier som den tillhandahåller för företag inom olika sektorer, tillhandahåller vår organisation också tjänster för efterlevnadstestning för den minsta flödeskoefficienten för membranventilen för det metriska PFA-röret inom ramen för SEMI F100-standarden, med dess utbildade och sakkunniga personal och avancerad teknisk utrustning.

WhatsApp