Testmetod för att bestämma gasutbyte/utsläppseffektivitet för SEMI F80 gasdistributionssystem

SEMI F80-standarden är tekniskt godkänd inom ramen för ett internationellt standardprogram kallat International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), som inkluderar aktiviteter till förmån för industrier som halvledare, integrerade kretsar, transistorer, dioder och plattskärmar över hela världen. av Gases Global Technical Committee. är en standard. Denna standard beskriver en testmetod för att bestämma gasutbytes-/rengöringseffektiviteten i gasdistributionssystemet. Denna standard täcker både konventionella yttätningar av metall och ytmonterade gasdistributionssystem. Denna testmetod är lämplig för alla gasdistributionssystem med hög renhet som används i halvledartillverkningsanläggningar och jämförbara forsknings- och utvecklingsområden.

Det är viktigt att avlägsna omgivande luft från alla delar av ett högrent gasrörsystem innan processgas introduceras. Detta är nödvändigt av två skäl:

• Den återstående luften minskar processgasens renhet. Detta gäller alla processgaser, vare sig de är farliga eller inte.
• Luft innehåller syre och vattenånga, vissa speciella gaser reagerar med syre, och de resulterande reaktionsprodukterna kan orsaka processkontamination och fel på grenrörskomponenter. Andra gaser bildar mycket frätande produkter när de kommer i kontakt med vattenånga och skadar rörsystemet. Utrustningskorrosion är också en orsak till kontaminering.

Det är nödvändigt att avlägsna processgas från någon del av rörsystemet innan exponering för omgivande luft. Orsakerna till detta kan listas enligt följande:

• Många specifika gaser är mycket giftiga och utgör en allvarlig hälsorisk för arbetare.
• Vissa gaser är mycket brandfarliga eller till och med självantändande och utgör en brand- eller explosionsrisk.
• Vissa gaser å andra sidan blir mycket frätande vid kontakt med vattenånga i luften och orsakar skador på utrustning och anläggningar.

Bland de många tester, mätningar, analyser och utvärderingar som vår organisation tillhandahåller för företag inom olika sektorer, erbjuder vi även testtjänster för att fastställa gasutbytes-/utsläppseffektiviteten i gasdistributionssystem inom ramen för SEMI F80-standarden, tack vare vår utbildade och expertpersonal och avancerade tekniska utrustning.