SEMI F76-standarden, utvecklad under ett internationellt standardiseringsprogram kallat Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , definierar en testmetod för att jämföra gasbearbetningskomponenter för potentiell partikelgenerering i korrosiva gaser. Denna standard är utformad som ett praktiskt sätt att generera prestandadata för en grupp komponenter som ska jämföras i en urvalsprocess. Den beskrivna testmetoden är tillämplig på ventiler, partikelfilter och lågtrycksregulatorer.
SEMI-standarder ger tillverkare vägledning om de kemikalier och materialprocesser som är involverade i tillverkningen av halvledarchips och andra relaterade enheter. Tack vare dessa standarder kan företag komma in på internationella marknader, minimera designrisker och öka sin produktivitet.
För halvledarindustrin är hög renhet, kemikaliebeständighet, densitet och noggrannhet viktiga verktyg för produktutveckling och tillverkningsprocesser. Halvledarmaterial är material som får ledande egenskaper med effekten av mekaniskt arbete som appliceras på dem. Dessa material, som är isolatorer under normala förhållanden, frigör en del av sina elektroner och blir ledande när yttre effekter som värme, ljus, magnetisk effekt eller elektrisk spänning appliceras. När denna applicerade yttre effekt avlägsnas återgår dessa ämnen till det isolerande tillståndet igen. Tack vare dessa egenskaper används halvledare i stor utsträckning inom elektronikområdet.
SEMI-standarder avser även lagrade/komprimerade gaskällor och distributionssystem. Det hänvisar också generellt till mycket giftiga tillsatsgaser under högtemperaturdiffusionsstegen.
När denna standard utarbetades togs följande SEMI-standarder som referens:
Vår organisation, bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier som den tillhandahåller för företag inom olika sektorer, tillhandahåller även testtjänster för utvärdering av partikelbidrag från gassystemkomponenter exponerade för korrosiv gas inom ramen för SEMI F76-standarden, med dess utbildad och sakkunnig personal och avancerad teknisk utrustning.
Du kan be oss fylla i vårt formulär för att få en tid, för att få mer detaljerad information eller för att begära en utvärdering.
