Utvecklad under ett internationellt standardprogram kallat International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), är SEMI F70-standarden en tekniskt godkänd standard av Gases Global Technical Committee. Syftet med denna standard är att tillhandahålla en standardmetod och testmetod för att mäta partikeltillsatsens prestanda hos ett gasdistributionssystem i termer av antalet partiklar som tillsätts gasen som strömmar genom systemet. Detta standardiserade förfarande är avsett att användas i stor utsträckning av leverantörer av gasdistributionssystem, utrustningsleverantörer och slutanvändare.
Testmetoden i fråga gäller konventionella ytmonterade gasdistributionssystem som används i halvledartillverkningsutrustning. Under testerna beaktas SEMI F70.1-0320-standarden som är ansluten till denna standard (testmetod för att bestämma partikelbidraget från gasdistributionssystemet och dess komponenter genom slagprovning).
En av de viktigaste övervägandena vid utformningen av ett gasdistributionssystem är graden av gasrenhet som krävs vid varje användningsställe. Att upprätthålla gasens renhet förenklas genom ett centraliserat system. Valet av material för installation måste vara konsekvent genomgående. Till exempel, om en gas av forskningskvalitet används, bör all konstruktion av rostfritt stål och membranfria avstängningsventiler användas för att förhindra kontaminering av gasströmmen. I allmänhet finns det tre renhetsnivåer för att beskriva nästan alla applikationer: renhet för alla ändamål, hög renhet och ultrahög renhet.
SEMI-standarder och säkerhetspraxis gör inte anspråk på att lösa alla säkerhetsproblem för deras användning. Det är användarnas ansvar att fastställa lämpliga säkerhets- och hälsorutiner och att fastställa tillämpligheten av restriktioner från användning.
Kort sagt är syftet med SEMI F70-standarden att tillhandahålla en metod för att mäta partikeltillsatsens prestanda hos ett gasdistributionssystem i termer av antalet partiklar som tillsätts gasen som strömmar genom systemet.
När denna standard utarbetades togs följande SEMI-standarder som referens:
Bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier som den tillhandahåller för företag inom olika sektorer, tillhandahåller vår organisation också testtjänster för bestämning av partikelbidraget från gasdistributionssystemet inom ramen för SEMI F70-standarden, med dess utbildade och sakkunnig personal och avancerad teknisk utrustning.
Du kan be oss fylla i vårt formulär för att få en tid, för att få mer detaljerad information eller för att begära en utvärdering.
