SEMI F106-standarden är tekniskt godkänd inom ramen för ett internationellt standardprogram kallat International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), som inkluderar aktiviteter till förmån för industrier som halvledare, integrerade kretsar, transistorer, dioder och plattskärmar över hela världen. av Gases Global Technical Committee. är en standard. Denna standard beskriver en testmetod för att upptäcka interna heliumläckor för gasdistributionssystem. Denna standard täcker både konventionella yttätningar av metall och ytmonterade gasdistributionssystem.
Den presenterade testmetoden är tillämpbar på alla typer av högren gasdistributionssystem som används i halvledartillverkningsanläggningar och jämförbara forsknings- och utvecklingsområden.
Heliumläckagetestning används för att upptäcka eventuella läckor i olika typer av slutna eller slutna system som använder helium som spårgas. Med detta test mäts läckagekoncentrationen (läckage) och bestäms som läckagehastigheten.
De viktigaste nyckelegenskaperna hos heliumgas som gör den idealisk för läckagetestning är:
Heliumbaserade testmetoder är kort sagt en mycket känslig läckagetestteknik utrustad med detektering av extremt små läckor som inte är möjliga med andra läckagetestmetoder. Högvakuumteknik används under detta test. Ett mycket lågt läckagetesttröskelvärde tillhandahålls, en känslighetsnivå som möjliggör oöverträffade jämförelser mellan förpackningskomponenter.
Vår organisation, bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier den tillhandahåller för företag inom olika sektorer, tillhandahåller också testtjänster för bestämning av läckintegriteten hos gasdistributionssystem med heliumläckagedetektor inom ramen för SEMI F106-standarden, med dess utbildade och sakkunniga personal och avancerad teknisk utrustning.
Du kan be oss fylla i vårt formulär för att få en tid, för att få mer detaljerad information eller för att begära en utvärdering.
