SEMI F77, utvecklad inom ramen för ett internationellt standardiseringsprogram kallat SEMI-programmet (International Semiconductor Equipment and Materials), vilket inkluderar aktiviteter som gynnar industrier som halvledare, integrerade kretsar, transistorer, dioder och platta bildskärmar världen över, definierar en testmetod för att bestämma den relativa motståndskraften mot punktkorrosion hos våta ytor på komponenter avsedda för användning i korrosiva gasleveranssystem för halvledartillverkning. Denna testmetod är en anpassning av ASTM G150-standarden publicerad av American Society for Testing and Materials (ASTM) (ASTM G150-18 Standardtestmetod för elektrokemisk kritisk punktkorrosionstemperaturtestning av rostfritt stål och relaterade legeringar). Denna standard syftar till att skilja mellan legeringskompositioner eller processer som kommer att påverka korrosionsprestanda hos våta ytor. Detaljerna i SEMI F77-standarden finns i ASTM G150-standarden, och det rekommenderas att hänvisa till ASTM G150-standarden för tillämpning av denna testmetod.
Testmetoden som beskrivs i SEMI F77-standarden inkluderar en elektrokemisk kritisk gropfrätningstemperaturbaserad procedur som används för att rangordna gropkorrosionsbeständigheten hos testkuponger av fuktade ytor på rör eller representativa färdiga ytor avsedda för användning i korrosiva gassystem. Gropkorrosion är känt för att vara ett viktigt sätt för korrosionsbrott i halvledargasdistributionssystem, särskilt i komponenter och rör som är svetsade och utsatta för korrosiva gaser och fukt.
Kortfattat är SEMI F77-standardtestmetoden en anpassning av ASTM G150-standardtestmetoden och beskriver en testmetod för att utföra anpassningen på kuponger eller våta ytsektioner utskurna från gastillförselsystemkomponenter såsom cylindrar. Detta är den våta nedsänkningsmetoden.
När denna standard utarbetades togs följande SEMI-standard som referens:
Bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier som den tillhandahåller för företag inom olika sektorer, tillhandahåller vår organisation även testtjänster för att bestämma den elektrokemiskt kritiska groptemperaturen hos ytor av rostfritt stål som används i korrosiva gassystem inom ramen för SEMI F77-standarden, med dess utbildade och sakkunniga personal och avancerad teknisk utrustning. .
Du kan be oss fylla i vårt formulär för att få en tid, för att få mer detaljerad information eller för att begära en utvärdering.
