SEMI F112 testmetod för bestämning av fukttorkande egenskaper hos ytmonterade och konventionella gasdistributionssystem genom kavitetsringspektroskopi (CRDS)

Utvecklad inom ramen för ett internationellt standardprogram kallat International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), fokuserar SEMI F112-standarden på att bestämma egenskaperna för fukttorkning (dvs. mängden extraherbar fukt) för ytmonteringen av integrerade gasdistributionssystem och konventionell gas. distributionssystem som använder rymdringspektroskopi (CRDS) analysatorer En testmetod är definierad för

Resultaten av denna testmetod används för den kvalitativa rangordningen av gasdistributionssystemet baserat på designen. Den kan också användas av en användare med tillräcklig kunskap som input för numerisk simulering av beteendet hos ett gasdistributionssystem.

När denna standard utarbetades togs följande SEMI-standarder som referens:

Testmetod för SEMI C15 ppm och ppb fuktstandarder
SEMI F1 Läckintegritetsspecifikation för gasledningssystem och komponenter med hög renhet

Rymdringspektroskopi (CRDS) är en välkänd och använd teknik för att övervaka fukt i högrena processgaser inom halvledar- och LED-tillverkningsindustrin, samt inom industriell gas- och kemisk produktion, transport och distribution. Fördelarna med denna noggranna och kostnadseffektiva fuktövervakningsteknik drar till sig uppmärksamhet från industristandardutgivare som SEMI.

Testmetoden som presenteras i SEMI F112-standarden tillåter användare att kvalitativt utvärdera och rangordna gasdistributionssystem enligt deras design. Denna standard täcker följande huvudsakliga tillämpningsområden:

Ytmonterade gasdistributionssystem
Konventionella gasdistributionssystem
Kvalificering av nya rörinstallationer
Kvalificering av nya gasdistributionskonstruktioner

Generellt sett är SEMI-standarder frivilliga tekniska avtal mellan leverantörer och kunder som syftar till att förbättra produktkvalitet och tillförlitlighet genom stabil leverans. Dessa standarder säkerställer global kompatibilitet för produkter för att möta utmaningarna med att öka produktiviteten samtidigt som de ger världsomspännande affärsmöjligheter.

Bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier som den har gjort för företag inom olika sektorer, kan vår organisation, med sin utbildade och sakkunniga personal och avancerad teknisk utrustning, utvärdera de fukttorkande egenskaperna hos ytmonterade och konventionella gasdistributionssystem. med rymdringspektroskopi (CRDS) inom ramen för SEMI F112-standarden. Den tillhandahåller också testtjänster för bestämning av