Testmetod för att bestämma tryckeffekter på visat och faktiskt flöde för SEMI F64 massflödesregulatorer

SEMI F 64, utvecklad inom ramen för ett internationellt standardiseringsprogram kallat Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), vilket inkluderar aktiviteter som gynnar industrier som halvledare, integrerade kretsar, transistorer, dioder och platta bildskärmar över hela världen, definierar en testmetod för att karakterisera en massflödesregulator avsedd för installation i ett gasdistributionssystem. Denna testmetod tillämpas för att bestämma effekten av transienta och stationära inlopps- och utloppstryckförhållanden på massflödesregulatorns prestanda.

Denna testmetod ger en gemensam bas för kommunikation mellan tillverkare och användare angående testning och förklaring av massflödesregulatorns tryckeffekter.

Med denna testmetod bestäms effekterna av transienttryck uppströms (inlopp) och nedströms (utflöde) på specificerat och faktisk flöde. Denna testmetod ger resultaten av det faktiska utloppsflödet kontra specificerat flöde och massflödesregulatorns börvärde som påverkas av inloppstrycket i konstant tillstånd. Metoden gäller massflödesregulatorer med ett maximalt flödesområde på upp till 1000 sccm (standard kubikcentimeter per minut).

Tryckökningen gör att gasen komprimeras. Gaser har en högre densitet och upptar en mindre volym. Med andra ord, om en viss gasmassa strömmar är dess volym mindre. Eftersom samma massa gas strömmar genom samma rör, minskar hastigheten på den komprimerade gasen.

I gastillämpningar kan gastrycksfluktuationer påverka gasens hastighet, och därmed väsentligt påverka gasflödesmätinstrument.

I huvudsak är flödet ett mått på luftflödet i volym per tidsenhet. Hastighet hänvisar till hur snabbt luften rör sig per tidsenhet. Tryck är måttet på kraft som appliceras på ett område.

Vår organisation, bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier den tillhandahåller för företag inom olika sektorer, inkluderar även testtjänster för att bestämma tryckeffekterna på det faktiska flödet och visas för massflödeskontrollanordningar inom ramen för SEMI F64-standarden , med sin utbildade och sakkunniga personal och avancerade tekniska utrustning.