SEMI F111-standarden, som utvecklats inom ramen för ett internationellt standardiseringsprogram som kallas Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), vilket inkluderar aktiviteter som gynnar industrier som halvledare, integrerade kretsar, transistorer, dioder och platta bildskärmar över hela världen, definierar en testmetod för att mäta partikelavlägsningsförmågan hos fläktfilterenheter (EFFU) monterade inuti utrustning.
-partikul-temizleme-icin-test-yontemi.jpg "SEMI F111 Utrustning Fläktfilterenhet (EFFU) Testmetod för partikelavlägsnande")
Eftersom det finns ett fläktpartikelfilter, en fläkt och en motorenhet installerad inuti utrustningen, är integriteten hos dessa delar avgörande för utrustningens fläktfilterenhets prestanda. Därför är en konventionell partikelborttagningstestmetod för partikelfilter lämplig för att utvärdera partikelavlägsningsprestandan hos utrustningens fläktfilterenhet.
Testmetoden som beskrivs i denna standard beskriver en utvärderingsmetod för en utrustningsfläktfilterenhet installerad i ett begränsat utrymme för att avlägsna partiklar som produceras i processutrustningen. Partikelavlägsnande prestanda hos utrustningsfläktfilterenheter är i allmänhet beroende av filtermediets prestanda och luftflödet. För att förstå prestandan hos en utrustningsfläktfilterenhet är det nödvändigt att samtidigt beakta filtermediespecifikationen, luftflödet och integriteten hos utrustningens fläktfilterenhetsdelar. Kortfattat syftar denna testmetod till att demonstrera systemets prestanda för utrustningens fläktfilterenhet.
Utrustningsfläktfilterenheten är en slags motoriserad luftfiltreringsutrustning. Det används för att avlägsna skadliga luftburna partiklar från omgivande luft och för att tillföra renad luft till renrum, laboratorier, medicinska anläggningar eller mikromiljöer. Dessa enheter innehåller vanligtvis ett eget filter, HEPA-filter och internt styrd fläktluftfördelning. Utrustningsfläktfilterenheter är flexibla och ekonomiska lösningar för att avlägsna partiklar från envägsventilerad utrustning.
När denna standard utarbetades togs följande SEMI-standard som referens:
Bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier som den tillhandahåller för företag inom olika sektorer, tillhandahåller vår organisation även testtjänster för partikelrening av utrustningsfläktfilterenhet (EFFU) inom ramen för SEMI F111-standarden, med sin utbildade och expert personal och avancerad teknisk utrustning.
Du kan be oss fylla i vårt formulär för att få en tid, för att få mer detaljerad information eller för att begära en utvärdering.
