
Utvecklat under ett internationellt standardprogram kallat International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), är syftet med SEMI F72-standarden att beskriva en testmetod för att karakterisera ytsammansättningen av passiverade 316L rostfria stålkomponenter som övervägs för installation i ett gasdistributionssystem med hög renhet . Denna testmetod är utformad för att appliceras på våta ytor av rostfria rör, kopplingar, ventiler och andra komponenter som ett mått på passiveringseffektiviteten. Passiveringsprocessen är neutraliseringsprocessen på järnet efter användning av rostavlägsnande syra.
-icin-test-yontemi-pasiflestirilmis-316l-paslanmaz-celik-bilesenlerin-islak-yuzeylerinin-testleri.jpg)
Syftet med denna testmetod är att definiera en generell uppsättning instrumentparametrar och förhållanden som kommer att erhålla reproducerbara mätningar inom det kromberikade passiva oxidskiktet. Denna testmetod har utarbetats för att karakterisera sammansättningen och tjockleken av det kromberikade oxidskiktet på ytor av rostfritt stål och för att upptäcka ytföroreningar i rör, kopplingar, ventiler och andra komponenter. Metoden går ut på att detektera och mäta ytelementsammansättningen med Auger-elektronspektroskopi (AES). Denna testmetod beskriver också testmetoden för djupsammansättningsprofilen av krom, järn, nickel, syre och kol som sträcker sig från ytan som tas genom oxidskikten och in i basmetallen. Denna mätning ger information om oxidtjocklek och kromanrikning i hela den passiverade regionen.
Med hjälp av Auger-elektronspektroskopi (AES) bombarderas provet av högenergielektroner och en del elektroner avlägsnas från målatomerna och atomerna joniseras. Eftersom den joniserade atomen är instabil fyller en elektron från den yttre orbitalen elektronvakansen i den inre orbitalen. Denna metod är en mycket kraftfull bildanalysteknik.
När denna standard utarbetades togs följande SEMI-standarder som referens:
Vår organisation, bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier som den har gett för företag inom olika sektorer, med sin utbildade och sakkunniga personal och avancerad teknisk utrustning, testmetoden för Auger-elektronspektroskopi (AES) inom ramen för SEMI F72-standarden är oxidtestmetoden för våta ytor av passiverade 316L rostfria stålkomponenter. Den tillhandahåller även testtjänster för utvärdering av skiktet.
