SEMI F115 testmetod för bestämning av metalliska element i våta ytor av ultrahöga kemiska leveranssystem och komponenter

SEMI F115 testmetod för bestämning av metalliska element i våta ytor av ultrahöga kemiska leveranssystem och komponenter

SEMI F115-standarden, som utvecklats inom ramen för ett internationellt standardiseringsprogram som kallas International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI)-programmet, vilket inkluderar aktiviteter som gynnar industrier som halvledare, integrerade kretsar, transistorer, dioder och platta bildskärmar över hela världen, definierar en testmetod för att identifiera metalliska element som finns på de våta ytorna av kemikalieleveranssystem och komponenter med ultrahög renhet (UHP).

SEMI F115 testmetod för bestämning av metalliska element i våta ytor av ultrahöga kemiska leveranssystem och komponenter

Denna testmetod är tillämpbar på kemiska leveranssystem och komponenter med ultrahög renhet. Exempel på tester inkluderar ventiler, regulatorer, filter, massflödesregulatorer, rörledningar, svetsenheter och ansiktstätningar. Denna testmetod kan också användas för att upptäcka kontaminering från en monterings- eller tillverkningsplats.

Denna standard beskriver metoden för att ta bort och mäta de löstagbara metallelementen med ultrarent vatten på fuktiga ytor. Denna testmetod kan också användas för att utvärdera effektiviteten av olika tvätt- eller rengöringsprocesser.

Gaser med ultrahög renhet används i stor utsträckning inom halvledarindustrin. Ultrahög renhet definieras i allmänhet som mindre än 100 ppb koncentration för alla flyktiga molekyler såsom föroreningsnivå eller fukt.

När denna standard utarbetades togs följande SEMI-standarder som referens:

  • SEMI E49.2 Vägledning för kvalificering av polymergrupper som används för flytande kemiska system i halvledarutrustning
  • SEMI E49.8 Guide till gasdistributionssystem med hög renhet och ultrahög renhet i utrustning för tillverkning av halvledare
  • SEMI F20-specifikation för 316L stång av rostfritt stål, smide, extruderade former, plåt och rör för komponenter som används för allmänt bruk, hög renhet och ultrahög renhet för halvledartillverkning
  • SEMI F63 Ultrarent vattenguide som används i halvledarbearbetning

Vår organisation tillhandahåller testtjänster för bestämning av metalliska element på de våta ytorna av kemiska distributionssystem och komponenter med ultrahög renhet inom ramen för SEMI F115-standarden, med sin utbildade och sakkunniga personal och avancerad teknisk utrustning, bland de många tester, mätningar , analys och utvärderingsstudier den tillhandahåller för företag inom olika sektorer.

WhatsApp