SEMI F114 testmetod för bestämning av organiska föroreningar i våta ytor av kemiska leveranssystem och komponenter med ultrahög renhet

Utvecklad inom ramen för ett internationellt standardprogram kallat International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), definierar SEMI F114-standarden en testmetod för att bestämma organiska föreningar på våta ytor av kemiska leveranssystem och komponenter med ultrahög renhet (UHP).

Denna testmetod är tillämpbar på kemiska leveranssystem och komponenter med ultrahög renhet. Exempel på tester inkluderar ventiler, regulatorer, filter och massflödesregulatorer, rörledningar, svetskopplingar och beslag för ansiktstätningar. Den beskrivna testmetoden används också för att upptäcka föroreningar från ett monterings- eller produktionsområde. Denna testmetod beskriver metoden för att ta bort och mäta organiska föroreningar som finns på våta ytor.

Kortfattat kan denna testmetod också användas för att utvärdera effektiviteten av olika tvätt- eller rengöringsprocesser.

När denna standard utarbetades togs följande SEMI-standarder som referens:

• SEMI E49.8 Guide till gasdistributionssystem med hög renhet och ultrahög renhet i utrustning för tillverkning av halvledare
• SEMI F20-specifikation för 316L stång av rostfritt stål, smide, extruderade former, plåt och rör för komponenter som används för allmänt bruk, hög renhet och ultrahög renhet för halvledartillverkning

Organiska föroreningar definieras som kolbaserade kemikalier såsom organiska lösningsmedel, bekämpningsmedel, petroleumbaserat avfall, virke och flyktiga föreningar i gasform eller flytande fas. Organiska föroreningar orsakar generellt negativa miljöpåverkan. Spårhalter av organiska föroreningsrester som finns i jord, vatten, luft och ibland livsmedel anses vara skadliga för människors och miljöns hälsa. Organiska föroreningar i gasform eller flytande fas kan inkludera lösningsmedel, kemiska prekursorer och intermediärer, och flyktiga organiska föreningar (VOC) i form av petroleumföreningar.

Bland de många test-, mätnings-, analys- och utvärderingsstudier som den tillhandahåller för företag inom olika sektorer, tillhandahåller vår organisation testtjänster för bestämning av organiska föroreningar på de våta ytorna av kemiska distributionssystem och komponenter med ultrahög renhet inom ramen för SEMI F114 standard, med sin utbildade och sakkunniga personal och avancerad teknisk utrustning.