SEMI F73 testmetod för svepelektronmikroskopi (SEM) utvärdering av våta ytförhållanden hos komponenter i rostfritt stål

SEMI F73-standarden, som utvecklats inom ramen för ett internationellt standardprogram kallat International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), definierar en enhetlig testmetod för att testa våta ytor av komponenter av rostfritt stål avsedda för montering i gasdistributionssystem med hög renhet. Denna testmetod karakteriserar förekomsten, frekvensen och, i vissa fall, identiteten av mikroskopiska ytdefekter och föroreningar som ses på våta ytor.

Det finns en direkt korrelation mellan resultaten av denna testmetod och kontamineringen av processgaser eller produktutbyten i processer som betjänas av gasdistributionssystem med hög renhet. Tillämpningen av denna testmetod är avsedd att ge jämförbara och reproducerbara resultat bland olika användare av denna metod i syfte att kvalificera komponenter.

Syftet med testmetoden som beskrivs i denna standard är att definiera en allmän uppsättning instrumentella parametrar och förhållanden som kommer att ge exakta och repeterbara mätningar av viktiga parametrar för yttillstånd.

Denna testmetod är tillämpbar på våta ytor på rostfria rör, kopplingar, ventiler och andra komponenter för att fastställa effektiviteten av ytbehandlingar och rengöringsbehandlingar. Denna metod används för att identifiera ytdefekter inklusive gropar, inneslutningar, repor, kvarvarande processmärken, korngränser och föroreningar på våta ytor. Alla ytskador som uppstår under provberedningen bör dock uteslutas från denna bedömning.

Ett svepelektronmikroskop (SEM) är ett elektronmikroskop som använder en fokuserad stråle av elektroner för att skanna och avbilda provytan. Elektroner interagerar med atomer i provet och producerar olika signaler som innehåller information om sammansättningen på provets yta. Standard skanningsenheter är lämpliga för att inspektera torra och ledande ytor i högvakuum. Men det finns också skanningsenheter som arbetar i lågt vakuum, fuktiga förhållanden och förhållanden som sträcker sig från mycket låga till höga temperaturer.

Bland de många tester, mätningar, analyser och utvärderingar som vår organisation tillhandahåller för företag inom olika sektorer, erbjuder vi även testtjänster för utvärdering av våtytans tillstånd hos komponenter i rostfritt stål med hjälp av svepelektronmikroskopi (SEM) inom ramen för SEMI F73-standarden, tack vare vår utbildade och expertpersonal och avancerade tekniska utrustning.