Utvecklad inom ramen för ett internationellt standardprogram kallat International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), beskriver SEMI F104-standarden kraven och presenterar testmetoder för att utvärdera och jämföra komponenter i ultrarent vattenvätskeflöde vad gäller partikelbidrag. Denna standard definierar två testmetoder för att utvärdera partikelbidrag: sköljningstestmetoden och den dynamiska testmetoden.
Båda testmetoderna tillämpas på flytande kemiska komponenter och systemkomponenter för ultrarent vatten avsedda för användning i halvledartillverkningsverktyg och tillhörande utrustning.
Testmetoderna som beskrivs i denna standard är tester för att mäta partikeltillskottet från komponenter när ultrarent vatten används som testmedium. För denna standards syften måste ultrarent vatten uppfylla de minimikrav som anges i standarden. Vid tillämpning av dessa testmetoder används ett vätskeinstrument för att mäta optiska partiklar för att mäta prestanda. Denna enhet används ofta som en partikelräknare för att upptäcka och övervaka partikelförorening i vissa rena miljöer, inklusive luft, vatten och kemikalier. Partikelräknare används i industriell teknik som elektroniska komponenter och sammansättningar, farmaceutiska läkemedelsprodukter och medicintekniska produkter samt olja och gas för att stödja renare produktionsmetoder.
När denna standard utarbetades togs följande SEMI-standarder som referens:
Bland de många tester, mätningar, analyser och utvärderingar som vår organisation tillhandahåller för företag inom olika sektorer, erbjuder vi även testtjänster för utvärdering av partikelinnehåll i komponenter som används i doseringssystem för ultrarent vatten och flytande kemikalier enligt SEMI F104-standarden, med hjälp av vår utbildade och expertpersonal och avancerade tekniska utrustning.
Du kan be oss fylla i vårt formulär för att få en tid, för att få mer detaljerad information eller för att begära en utvärdering.
