Testovacia metóda SEMI F104 na hodnotenie prímesí častíc komponentov používaných v systémoch dodávania ultračistej vody a kvapalných chemikálií

Norma SEMI F104, vyvinutá v rámci programu medzinárodných noriem s názvom International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), popisuje požiadavky a predstavuje testovacie metódy na vyhodnotenie a porovnanie komponentov v prúde ultračistej vody z hľadiska podielu častíc. Táto norma definuje dve skúšobné metódy na hodnotenie podielu častíc: metódu oplachovania a dynamickú skúšobnú metódu.

• Metóda oplachovacieho testu vyhodnocuje výkon v režime umývania, keď je komponent v statickom stave, to znamená, že v testovanom komponente nie je žiadny aktívne sa pohybujúci komponent. Touto testovacou metódou sa získa údaj o objeme prania, ktorý je potrebný na to, aby sa úrovne častíc dostali do špecifikácie.
• Pri dynamickej testovacej metóde sa výkonnosť hodnotí počas prevádzky komponentu a získa sa údaj o podiele častíc v ustálenom stave v dôsledku dynamických prevádzkových podmienok.

Obidve testovacie metódy sa aplikujú na kvapalné chemické komponenty a komponenty ultračistej vody určené na použitie v nástrojoch na výrobu polovodičov a pomocných zariadeniach.

Skúšobné metódy opísané v tejto norme sú testy na meranie podielu častíc na komponentoch pri použití ultračistej vody ako testovacieho média. Na účely tejto normy musí ultračistá voda spĺňať minimálne požiadavky uvedené v norme. Pri aplikácii týchto testovacích metód sa na meranie výkonu používa prístroj na meranie kvapalných optických častíc. Toto zariadenie sa bežne používa ako počítadlo častíc na detekciu a monitorovanie kontaminácie časticami v určitých čistých prostrediach vrátane vzduchu, vody a chemikálií. Počítadlá častíc sa používajú v priemyselných technológiách, ako sú elektronické súčiastky a zostavy, farmaceutické liečivá a lekárske zariadenia a ropa a plyn na podporu čistejších výrobných postupov.

Pri príprave tohto štandardu sa ako referencia použili nasledujúce štandardy SEMI:

• SEMI E49 Sprievodca výkonom potrubia s vysokou čistotou a ultra vysokou čistotou pre podzostavy a konečné zostavy
• SEMI F57 Špecifikácia pre polymérne komponenty používané v systémoch dodávania ultračistej vody a tekutých chemikálií

Medzi početnými testami, meraniami, analýzami a hodnoteniami, ktoré naša organizácia poskytuje podnikom v rôznych odvetviach, ponúkame aj testovacie služby na hodnotenie obsahu častíc v komponentoch používaných v systémoch na dávkovanie ultračistej vody a kvapalných chemikálií podľa normy SEMI F104, pričom využívame náš vyškolený a odborný personál a moderné technologické vybavenie.