
Norma SEMI F 64, vyvinutá v rámci medzinárodného normalizačného programu s názvom Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), ktorý zahŕňa činnosti v prospech odvetví, ako sú polovodiče, integrované obvody, tranzistory, diódy a ploché displeje na celom svete, definuje testovaciu metódu na charakterizáciu regulátora hmotnostného prietoku určeného na inštaláciu v systéme distribúcie plynu. Táto testovacia metóda sa používa na určenie vplyvu prechodových a ustálených tlakových podmienok na vstupe a výstupe na výkon regulátora hmotnostného prietoku.

Táto testovacia metóda poskytuje spoločný základ pre komunikáciu medzi výrobcami a používateľmi, pokiaľ ide o testovanie a vysvetlenie vplyvov tlaku regulátora hmotnostného prietoku.
Touto testovacou metódou sa stanovujú vplyvy prechodového tlaku pred prúdom (vstup) a po prúde (výtok) na špecifikovaný a skutočný prietok. Táto skúšobná metóda poskytuje výsledky skutočného výstupného prietoku v porovnaní so špecifikovaným prietokom a nastavenou hodnotou regulátora hmotnostného prietoku ovplyvnenou ustáleným vstupným tlakom. Metóda platí pre regulátory hmotnostného prietoku s maximálnym rozsahom prietoku do 1000 sccm (štandardné kubické centimetre za minútu).
Zvýšenie tlaku spôsobí stlačenie plynu. Plyny majú vyššiu hustotu a zaberajú menší objem. Inými slovami, ak prúdi určité množstvo plynu, jeho objem je menší. Pretože tou istou rúrou prúdi rovnaké množstvo plynu, rýchlosť stlačeného plynu klesá.
V plynových aplikáciách môžu kolísanie tlaku plynu ovplyvniť rýchlosť plynu, a tým výrazne ovplyvniť prístroje na meranie prietoku plynu.
Prietok je v podstate mierou výstupu vzduchu v objeme za jednotku času. Rýchlosť vyjadruje, ako rýchlo sa vzduch pohybuje za jednotku času. Tlak je miera sily aplikovanej na oblasť.
Medzi početnými testovacími, meracími, analytickými a hodnotiacimi štúdiami, ktoré naša spoločnosť poskytuje pre podniky v rôznych odvetviach, so svojim vyškoleným a odborným personálom a moderným technologickým vybavením, testovacie služby na určenie vplyvov tlaku na skutočný prietok a preukázané pre masu zariadenia na reguláciu prietoku v rozsahu normy SEMI F64.
