Norma SEMI F115, vyvinutá v rámci medzinárodného normalizačného programu s názvom Medzinárodný program pre polovodičové zariadenia a materiály (SEMI), ktorý zahŕňa činnosti prospešné pre odvetvia, ako sú polovodiče, integrované obvody, tranzistory, diódy a ploché displeje na celom svete, definuje testovaciu metódu na identifikáciu kovových prvkov prítomných na zmáčaných povrchoch systémov a komponentov na dodávanie chemikálií s ultravysokou čistotou (UHP).
Táto testovacia metóda je použiteľná pre systémy a komponenty chemikálií s ultra vysokou čistotou. Príklady testov zahŕňajú ventily, regulátory, filtre, regulátory hmotnostného prietoku, potrubia, zváracie zostavy a zostavy čelného tesnenia. Táto testovacia metóda sa môže použiť aj na zistenie kontaminácie z miesta montáže alebo výroby.
Vyššie uvedená norma podrobne popisuje spôsob extrakcie a merania odnímateľných kovových prvkov ultračistou vodou na navlhčených povrchoch. Táto testovacia metóda môže byť použitá aj na vyhodnotenie účinnosti rôznych umývacích alebo čistiacich procesov.
Plyny s mimoriadne vysokou čistotou sú široko používané v polovodičovom priemysle. Ultra vysoká čistota je všeobecne definovaná ako koncentrácia menej ako 100 ppb pre akékoľvek prchavé molekuly, ako je úroveň nečistôt alebo vlhkosti.
Pri príprave tohto štandardu sa ako referencia použili nasledujúce štandardy SEMI:
Naša spoločnosť, medzi početnými testovacími, meracími, analytickými a hodnotiacimi štúdiami, ktoré poskytuje pre podniky v rôznych odvetviach, so svojim vyškoleným a odborným personálom a pokročilým technologickým vybavením, testovacie služby na stanovenie kovových prvkov na mokrých povrchoch ultra vysokej čistoty. chemické distribučné systémy a komponenty v rozsahu normy SEMI F115.
Môžete nás požiadať, aby sme vyplnili náš formulár, aby sme dostali schôdzku, získali podrobnejšie informácie alebo požiadali o vyhodnotenie.
