Testovacia metóda SEMI F110 pre monodisperzný polystyrénový latex (PSL) test kvapalinových filtrov

Norma SEMI F110, vyvinutá v rámci programu medzinárodných noriem s názvom International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), popisuje testovaciu metódu pre monodisperzný polystyrénový latex (PSL), ktorý odoláva kvapalinovým filtrom. Uvedená norma zahŕňa testovaciu metódu nanášania častíc monodisperzného polystyrénového latexu (PSL) pre kvapalinový filter triedy 50 až 200 nm.

Táto testovacia metóda pokrýva tieto oblasti:

Testovacie podmienky, ako je kvapalina, prietok, tlak, koncentrácia polystyrénového latexu (PSL), úprava membrány a ďalšie.
Hodnotený typ filtra.
Typ polystyrénového latexu (PSL) (referenčný materiál).
Metóda spracovania membrán pred testovaním na zníženie adsorpčného účinku.
Popis výsledku testu.

Od svojho počiatočného objavu sa latexové častice používajú v širokej škále aplikácií, vrátane elektrónovej mikroskopie a kalibrácie bunkového počítača, detekcie agregácie sprostredkovanej protilátkou, testov fagocytózy (jedna bunka pohlcuje inú bunku alebo časticu) a ďalších. Latexové guľôčky, ktoré sa môžu skladovať pri izbovej teplote, ale musia byť chránené pred mrazom, sa nepovažujú za sterilné.

Vodné filtre fungujú ako fyzická bariéra, ktorá zabraňuje vniknutiu nečistôt, v tomto prípade častíc monodisperzného polystyrénového latexu (PSL), alebo ich zadržiava. Rýchlosť prúdenia vody vo všeobecnosti závisí od veľkosti dutín vo filtračnej bariére alebo membráne. Jemnejší filter s najmenšími dutinami znamená pomalší prúd vody. Inovácie v dizajne a používaní týchto filtrov sú významným faktorom v snahe o dosiahnutie produktov vyššej kvality.

Skúšobná metóda opísaná v tejto norme je účinná pri filtrovaní častíc polystyrénového latexu, čo sú náročné látky. Častice sú detekované filtrom aj pri nízkych koncentráciách. Hoci sa meracie prístroje líšia v závislosti od ich konštrukcie, základný princíp je rovnaký.

Pri príprave tohto štandardu sa ako referencia použil nasledujúci štandard SEMI:

SEMI F63 Ultračistý vodiaci prvok používaný pri spracovaní polovodičov

Spomedzi mnohých testovacích, meracích, analytických a hodnotiacich štúdií, ktoré poskytuje pre podniky v rôznych sektoroch, naša organizácia poskytuje aj testovacie služby na určenie boja proti monodisperznému polystyrénovému latexu (PSL) kvapalinových filtrov v rámci štandardu SEMI F110, s jeho vyškolený a odborný personál a moderné technologické vybavenie.