
Norma SEMI F69, vyvinutý v rámci programu medzinárodných noriem s názvom International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), je technicky schválená norma od Gases Global Technical Committee. Táto norma poskytuje skúšobné metódy, ktoré sa majú použiť na charakterizáciu mechanickej integrity systémov rozvodu plynu prostredníctvom skúšok vibráciami a nárazmi. Skúšobné metódy, ktoré sa tu odporúčajú, zahŕňajú vibrácie (simulácia dopravy) a nárazové testovanie systémov distribúcie plynu (vrátane konvenčnej a povrchovej montáže) na spracovanie polovodičov.

Skúšobné metódy definované v norme SEMI F69 platia pre plynové rozvody, ktoré nie sú zabalené na prepravu. Konkrétne sa skúšobné metódy vzťahujú na zmontované a vzájomne prepojené komponenty rozvodu plynu a ich pridružený montážny panel, s alebo bez plechového štítu.
Na účely tejto normy sa očakáva, že dopravné vibrácie a simulácia budú vyššie ako normálne pri úrovniach vibrácií pri používaní. Preto sa testovanie simulácie prepravy považuje za prijateľné na posúdenie primeranej mechanickej integrity pre prepravné a vibračné namáhanie systémov distribúcie plynu počas životného cyklu.
Účelom otrasového testovania je poskytnúť podrobnejšie posúdenie porúch zariadenia v dôsledku otrasov počas vybaľovania, inštalácie alebo používania v teréne.
Predstavuje odporúčanú mechanickú integritu pre architektúru, dizajn a montážne techniky plynových rozvodov, ak sú skúšky odporúčané v tejto norme úspešne dokončené.
Keď sa plyny používajú vo významných objemoch, centralizovaný systém distribúcie plynu je praktickou nevyhnutnosťou. Dobre navrhnutý distribučný systém znižuje prevádzkové náklady, zvyšuje produktivitu a zvyšuje bezpečnosť. Centrálny systém umožňuje konsolidáciu všetkých fliaš na jednom skladovacom mieste. V tejto aplikácii sú plyny oddelené podľa ich typov, aby sa zvýšila bezpečnosť.
Pri príprave tohto štandardu sa ako referencia použil nasledujúci štandard SEMI:
Spomedzi mnohých testovacích, meracích, analytických a hodnotiacich štúdií, ktoré poskytuje pre podniky v rôznych odvetviach, naša organizácia poskytuje aj testovacie služby pre prenosové a rázové testovanie plynových distribučných sústav v rámci normy SEMI F69 so svojimi vyškolenými a odbornými pracovníkmi. a moderné technologické vybavenie.
