Testovacia metóda SEMI F76 na vyhodnotenie podielu častíc na komponentoch plynového systému vystavených korozívnym plynom

Testovacia metóda SEMI F76 na vyhodnotenie podielu častíc na komponentoch plynového systému vystavených korozívnym plynom

Norma SEMI F76, vyvinutá v rámci medzinárodného normalizačného programu s názvom Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , definuje testovaciu metódu na porovnávanie komponentov na spracovanie plynu z hľadiska potenciálnej tvorby častíc v prostredí s korozívnymi plynmi. Táto norma je navrhnutá ako praktický spôsob generovania údajov o výkone pre skupinu komponentov, ktoré sa majú porovnávať v procese výberu. Opísaná testovacia metóda je použiteľná pre ventily, filtre častíc a nízkotlakové regulátory.

Testovacia metóda SEMI F76 na vyhodnotenie podielu častíc na komponentoch plynového systému vystavených korozívnym plynom

Normy SEMI poskytujú výrobcom usmernenia o chemikáliách a materiálových procesoch, ktoré sa podieľajú na výrobe polovodičových čipov a iných súvisiacich zariadení. Vďaka týmto štandardom môžu spoločnosti vstúpiť na medzinárodné trhy, minimalizovať riziká dizajnu a zvýšiť svoju produktivitu.

Pre polovodičový priemysel sú vysoká čistota, chemická odolnosť, hustota a presnosť dôležitými nástrojmi pre vývoj produktov a výrobné procesy. Polovodičové materiály sú materiály, ktoré získavajú vodivé vlastnosti účinkom mechanickej práce, ktorá je na nich aplikovaná. Tieto materiály, ktoré sú za normálnych podmienok izolantmi, uvoľňujú časť svojich elektrónov a stávajú sa vodivými, keď sú aplikované vonkajšie vplyvy, ako je teplo, svetlo, magnetický efekt alebo elektrické napätie. Po odstránení tohto aplikovaného vonkajšieho efektu sa tieto látky opäť vrátia do izolačného stavu. Vďaka týmto vlastnostiam sú polovodiče široko používané v oblasti elektroniky.

Normy SEMI sa vzťahujú aj na zdroje uskladneného/stlačeného plynu a distribučné systémy. Vo všeobecnosti sa to týka aj vysoko toxických prídavných plynov počas krokov vysokoteplotnej difúzie.

Pri príprave tohto štandardu sa ako referencia použili nasledujúce štandardy SEMI:

  • Špecifikácia pre dusík SEMI C59
  • SEMI E66 Skúšobná metóda na stanovenie príspevku častíc pomocou regulátorov hmotnostného prietoku
  • SEMI F43 bodové čističe plynu a plynové filtre, ako aj testovacia metóda na stanovenie aditíva pevných častíc

Naša organizácia, medzi početnými testovacími, meracími, analytickými a hodnotiacimi štúdiami, ktoré poskytuje pre podniky v rôznych sektoroch, poskytuje aj testovacie služby na hodnotenie podielu častíc z komponentov plynového systému vystavených korozívnym plynom v rámci normy SEMI F76, s jej vyškolený a odborný personál a moderné technologické vybavenie.

WhatsApp